[发明专利]制备甲硅烷气体的管式反应器系统及使用其制备甲硅烷的方法

权利要求书

1.制备甲硅烷气体的管式反应器系统，所述管式反应器系统包括高位槽(1)、容器(3)、 第一冷凝器(4)、再沸器(5)、精馏塔(6)、第二冷凝器(7)、第三冷凝器(8)、第一流 入管(10-1)、第二流入管(10-2)和第三流出管(10-3)，第一流入管(10-1)与高位槽 (1)连通，第二流入管(10-2)与容器(3)连通，第三流出管(10-3)与第一冷凝器(4)连 通，精馏塔(6)的底部分别与再沸器(5)的进口端和出口端连通，精馏塔(6)的上部分别与第 二冷凝器(7)和第三冷凝器(8)连通，其特征在于所述管式反应器系统还包括管式反应器 (2)、第一分管(11)、第一总管(12)、第二总管(13)、第一单向阀(14)、第二分管(15)、 第三分管(16)、第二单向阀(17)和磁力屏蔽泵(18)，管式反应器(2)由第一壳体(2-1)、 第二壳体(2-2)、冷却水盘管(2-3)、第一筛网(2-4)和第二筛网(2-5)构成，冷却水盘 管(2-3)设在第一壳体(2-1)内，第一壳体(2-1)设有三个端口，分别定义为第一端口 (2-1-1)、第二端口(2-1-2)和第三端口(2-1-3)，第一壳体(2-1)装在第二壳体(2-2) 内，且二者之间设有空隙，第一端口(2-1-1)上设有第一筛网(2-4)，且二者可拆卸连接， 第二端口(2-1-2)上设有第二筛网(2-5)，且二者可拆卸连接；

高位槽(1)通过第一分管(11)与第一总管(12)连通，第一总管(12)与第一壳体(2-1) 的第一端口(2-1-1)连通，第一壳体(2-1)的第二端口(2-1-2)与第二总管(13)连通， 第二总管(13)通过第二分管(15)和第三分管(16)分别与容器(3)和精馏塔(6)连通，第二 分管(16)上设有第二单向阀(17)，第二总管(13)上设有取样口(13-1)、磁力屏蔽泵(18) 和第一单向阀(14)，容器(3)底部与第一总管(12)连通，第一壳体(2-1)的第三端口(2-1-3) 与第一冷凝器(4)连通，第一冷凝器(4)底部与第一总管(12)连通，第二冷凝器(7)底部与 第一总管(12)连通。

2.根据权利要求1所述一种制备甲硅烷气体的管式反应器系统，其特征在于所述冷却 水盘管(2-3)与第一端口(2-1-1)相对位置处设有冷却水出口(2-3-1)，所述冷却水盘管 (2-3)与第二端口(2-1-2)相对位置处设有冷却水进口(2-3-2)。

3.根据权利要求1所述一种制备甲硅烷气体的管式反应器系统，其特征在于所述第二 壳体(2-2)上分别设有导热油进口(2-2-1)和导热油出口(2-2-2)。