[发明专利]激光多参数实时测量装置

说明书

技术领域

本发明涉及激光参数测量技术领域，尤其是一种对激光束进行多参数实时测量的装置。 

背景技术

为了满足不同的需要，针对一个激光光源输出的光束需要进行多方面的测量，比如：光谱宽度、光斑尺寸、光斑调制度、瑞利距离、束腰位置、发散角、指向性、光束质量因子、单脉冲能量、能量稳定性、平均功率、功率稳定性、重复频率、脉冲宽度、脉冲稳定性、输出信噪比、偏振方向、偏振度等。而现有的激光参数测试仪器，只能针对单个或密切关联的几个激光参数进行测试，不能够跨越时域、频域、能量等多各方面，同时、全面的测量多个参数。这使得在进行激光光源输出光束特性的测试过程中，需要众多的仪器逐一测量，费时费力，而且不能够很好的把握激光器的工作状态。比如在针对重复频率低至数十分钟一个脉冲的激光器进行测量时，进行能量计测量脉冲能量方面的参数，光电二极管结合示波器测量激光输出时域方面的参数，光束质量分析仪测量激光M²因子等多个步骤的测试，不仅费时费力，前后测量的激光参数对应不同的时间状态，也使得测量结果不能很好的反映激光器的实时特性。 

比如申请号为200610167350.2的激光参数测量装置，采用漫反射成像光靶来反射被测激光源，然后通过图像采集卡处理后显示。这种装置仅局限于脉宽、频率、图像等可被图像采集卡获取的相关参数，并不能全面的反映被测激光束的多方面状态。 

发明内容

本发明目的在于解决上述已有技术中出现的问题，提供一种能够同时测量频域上的中心波长、光谱宽度、光谱分布；时域上的重复频率、脉冲宽度、脉冲稳定性；空间上的光斑尺寸、光斑调制度、发散角、指向性、光束质量因子；能量/功率上的单脉冲能量、能量稳定性、平均功率、功率稳定性、输出信噪比；偏振状态上的偏振方向、偏振度；以及束腰位置、M2因子等综合参数的激光多参数实时测量装置。该装置能够同时针对频域、时域、能量/功率、偏振状态以及由此瞬时计算的综合参数进行测量，实现对激光光源输出特性的全面、高效、实时测量和监控，为激光器的调试和研究提供了更快速、更便捷的测量。 

本发明提供一种激光参数测量系统，包括被测激光光源，还包括： 

分光装置，实现将被测激光光源输出的激光按照适当的比例分配到各个测试系统中； 

控制装置，对各个测量装置以及分光装置进行控制，包括实现开启关闭、同步触发等功能。 

频域相关参数测量装置，实现对中心波长、光谱宽度、光谱分布等频域相关参数的测量； 

时域相关参数测量装置，实现对重复频率、脉冲宽度、脉冲稳定性等时域相关参数的测量； 

空间相关参数测量装置，实现对光斑尺寸、光斑调制度、发散角、指向性、光束质量因子等空间上的相关参数测量； 

能量/功率相关参数测量装置，实现对单脉冲能量、能量稳定性、平均功率、功率稳定性、输出信噪比等能量/功率相关参数的测量； 

偏振状态相关参数测量装置，实现对偏振方向、偏振度等相关参数的测量； 

测量参数综合处理装置，进行相关测量参数综合处理(汇总、计算、统计等)，来实现对束腰位置、M2因子等相关参数的实时计算； 

显示装置，与上述装置连接，显示所述装置获取的所述被测激光的参数。 

本发明与已有技术相比具有如下的优点： 

1.本发明的装置能够针对激光光源同时进行频域、时域、空间、能量/功率、偏振状态的测量，这种跨越多个方面的全面型测量仪器与现有仪器针对频域、时域、空间等某一方面的几个参数进行测试存在本质不同，本发明的装置能够实现对激光光源输出特性的全面、高效、实时测量和监控。 

2.本发明的装置能够在实现对激光光源输出多个参数实时测量后，实时计算M2因子等复杂的激光光束参数，并进行统计处理，得到这些复杂参数之间，或者复杂参数与其他任意参数之间的关系曲线，从而更好的检测激光光源输出特性，而现有的仪器装置不能够实现这样的功能。 

附图说明

图1是本发明激光多参数实时测量装置实时例1的结构示意图。 

图2是本发明激光多参数实时测量装置实时例2的结构示意图。 

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图和实施例将对本发明进一步详细说明。 

实施例1