[发明专利]太阳能晶圆位置校准装置及具有该检测装置的检测机台

权利要求书

1.一种太阳能晶圆检测机台的位置校准装置，其特征在于，是供该检测机台校准复数个太阳能晶圆位置，其中上述太阳能晶圆分别具有一个收光面、及复数个位于该收光面并供将所接收光能转换为电能输出的导电汇流排，该检测机台包括一个沿一个移载方向载送上述待测太阳能晶圆的移载装置、一组设置在对应上述移载装置的至少一个受测位置的检测装置，其中该位置校准装置包括：

至少一组夹持件，包括：

一个固定臂，及

一个沿一个与该移载方向夹一角度的宽度方向相对该固定臂设置、并可沿对应上述宽度方向相对该固定臂移动的活动臂；及

至少一组夹持驱动件，是对应上述至少一组夹持件、并包括一个用来当受该移载装置承载的上述待测太阳能晶圆位于该受测位置时，驱动该活动臂使上述待测太阳能晶圆沿该宽度方向被保持在一个对应上述受测位置的预定位置的驱动器。

2.如权利要求1所述的位置校准装置，其特征在于，其中上述固定臂及活动臂分别具有一个主体、及一个彼此相向且分别设置于前述主体上的缓冲部。

3.如权利要求1或2所述的位置校准装置，其特征在于，其中该组夹持驱动件更包括一个对应上述受测位置设置的、用以检测上述待测太阳能晶圆位置而供驱动该夹持驱动件的侦测器。

4.一种具有位置校准装置的太阳能晶圆检测机台，其特征在于，其中供检测的太阳能晶圆分别具有一个收光面、及复数个位于该收光面并供将所接收光能转换为电能输出的导电汇流排，该检测机台包括：

一个基座；

一个在该基座上、沿一个移载方向载送上述待测太阳能晶圆的移载装置；

一组设置在对应上述移载装置的至少一个影像摄取的受测位置的光学检测装置；

一个设置在对应上述移载装置的至少一个光照的受测位置的光照检测装置；及

复数组位置校准装置，包括：

复数组夹持件，包括：

一个固定臂；及

一个沿一个与该移载方向夹一角度的宽度方向相对该固定臂设置、并可沿对应上述宽度方向相对该固定臂移动的活动臂；及

复数组夹持驱动件，是对应上述夹持件、并包括一个用来当受该移载装置承载的上述待测太阳能晶圆位于上述受测位置时，驱动该活动臂使上述待测太阳能晶圆沿该宽度方向被保持在一个对应上述受测位置的预定位置的驱动器。

5.如权利要求4所述的太阳能晶圆检测机台，其特征在于，其中该光学检测装置包括：

一组用以摄取上述受测太阳能晶圆收光面影像的收光面检测器；

一组用以摄取上述受测太阳能晶圆相反于该收光面的背面影像的背面检测器；及

一组对应上述移载装置、并供在该收光面检测器与该背面检测器间翻转上述待测太阳能晶圆的翻转器。

6.如权利要求4或5所述的太阳能晶圆检测机台，其特征在于，其中该光学检测装置包括一个用以分辨上述受测太阳能晶圆受光面色彩的分色检测器。

7.如权利要求4或5所述的太阳能晶圆检测机台，其特征在于，其中该固定臂及活动臂分别具有一个主体及相向设置于该主体上的缓冲部。

8.如权利要求4或5所述的太阳能晶圆检测机台，其特征在于，其中该夹持驱动件更包括一个对应上述受测位置设置、用以检测上述待测太阳能晶圆位置而供驱动该夹持驱动件的侦测器。

9.如权利要求4或5所述的太阳能晶圆检测机台，其特征在于，其中该光照检测装置更包括：

一个供光照检测的光源；

复数个当上述受测太阳能晶圆位于该至少一个光照受测位置时，分别对应上述受测太阳能晶圆导电汇流排的导接电极；及

一组驱动上述导接电极导接/去导接至上述待测太阳能晶圆导接汇流排的导接驱动件。

10.如权利要求4或5所述的太阳能晶圆检测机台，其特征在于，其中该组导接驱动件是用以分别驱动上述导接电极在一个接触上述位于前述光照受测位置的受测太阳能晶圆导电汇流排的接触位置、与一个远离该接触位置的待机位置间升降的机械臂。