[发明专利]卡匣搬送装置

说明书

技术领域

本发明涉及将被使用于电视显示器的玻璃基板等收纳的卡匣(カセツト)，特别是涉及被称作为洁净卡匣的搬送装置。

背景技术

收纳有如上所述玻璃基板的卡匣暂时被保管在自动仓库的架体上，当对于玻璃基板实施各种处理时，利用该自动仓库具有的行走天车，自架体搬送到处理装置附近的玻璃基板搬出作业部，在此，玻璃基板自卡匣内被玻璃基板取出用机器人取出而供给到处理装置。然而，被收纳在卡匣内的玻璃基板必须避免接触到被污染过的环境气体，因此，使用在其内部空间能够维持洁净环境的自动仓库，但是，若是大规模的自动仓库，由于将其大的内部空间全部维持洁净环境就需要很大的设备成本及维持成本，所以，开始充分利用被称作为洁净卡匣的卡匣，前述洁净卡匣具有将其内部空间维持洁净的功能。

即，洁净卡匣构成为仅一侧面被当作基板出入用开口部开放的矩形箱型，在该开口部的相反侧的侧壁上组装有风扇过滤器单元(FFU)，前述风扇过滤器单元(FFU)取入外部气体并经由过滤器送入到卡匣内，当被收纳在自动仓库的架体内时，通电到FFU而能够使卡匣内部维持洁净的环境气体。但是，当利用行走天车使前述洁净卡匣在架体与玻璃基板搬出作业部或玻璃基板搬入作业部之间搬送时，即使假设自该行走天车的升降运输器侧，能够通电到洁净卡匣的FFU，在卡匣的搬送途中，仓库内的环境气体也会自开放较大的基板出入用开口部进入，使卡匣内部空间的洁净度降低。这与卡匣是否装备有FFU或者仓库是否被维持洁净的环境气体无关地被关心，在卡匣的搬送中，最好使仓库内的环境气体不进入该卡匣内。

以前，例如如专利文献1记载所述，考虑到了在卡匣搬送装置的卡匣支撑部处事先设置将被搬送的卡匣收纳的洁净盒。

专利文献1：日本特开2003-174073号公报

发明内容

在上述专利文献1记载的构成中，被设于卡匣搬送装置的卡匣支撑部上的洁净盒是能够收纳卡匣的大型装置，由于具有与以前洁净卡匣的FFU同样的机构，因此，卡匣搬送装置成为大型且高价的装置。而且，由于洁净卡匣本身存在卡匣出入的较大开口部，所以，在搬送途中无法完全防止外部气体进入洁净盒内，进而进入被收纳在该洁净盒内的卡匣内。

本发明提供能够消除如上所述的现有技术的问题点的卡匣搬送装置，对于记载于第一方面本发明的卡匣搬送装置，当赋予下述实施形态的参照编号而表示时，在升降运输器15上，在该升降运输器15上的退入位置与进出到横向侧的进出位置之间，设有水平出退移动自如的卡匣移载用支撑座20，其特征在于：在升降运输器15上，在将卡匣移载用支撑座20水平出退移动自如地加以支撑的支撑部(转台16)设有盖体22，前述盖体22将在前述卡匣移载用支撑座20上被支撑而被移载到升降运输器15上的一定位置的卡匣6的基板出入用开口部6a加以关闭，在前述盖体22上设有基板位置检测装置30，前述基板位置检测装置30自该盖体22关闭的基板出入用开口部6a检测卡匣6内的基板10的收纳位置。

当实施上述本发明时，如第二方面发明所示，能够在前述盖体22上安装有基板位置检测装置30，前述基板位置检测装置30自该盖体22关闭的基板出入用开口部6a检测卡匣6内的基板10的收纳位置。

而且，当卡匣6在通过卡匣移载用支撑座20朝向升降运输器15上移载时的移动方向后端侧具有基板出入用开口部6a时，如第三方面发明所述，前述盖体22构成在卡匣移载路径外侧的退避位置与卡匣移载路径内的关闭作用位置之间移动自如。在此情况下，如第四方面发明所述，盖体22由左右一对盖单体23A，23B构成，前述左右一对盖单体23A，23B在卡匣移载路径两侧的退避位置与卡匣移载路径内的关闭作用位置之间移动自如，在关闭作用位置上的左右一对盖单体23A，23B构成为相互邻接而关闭卡匣6的基板出入用开口部6a，前述基板位置检测装置30可被安装在单侧的盖单体23A上。而且，在此情况下，如第五方面发明所述，左右一对盖单体23A，23B在垂直支轴25a，25b的周围，在退避位置与关闭作用位置之间水平摆动自如地被轴支撑在前述支撑部(转台16)上，自关闭作用位置向退避位置开动的各盖单体23A，23B构成为位于被移载到升降运输器15上的一定位置的卡匣6的两侧相当位置。