[发明专利]紧凑型灵敏气缸

说明书

技术领域：

本发明涉及双面抛光/研磨机领域，尤其涉及双面抛光/研磨机上盘系统的控制压力用气缸的结构。

背景技术：

电子专用加工设备双面抛光机的压力控制通常采用气动控制，气缸通常作为执行元件。传统的抛光设备的加压气缸通常采用普通气缸或低摩擦气缸，均为标准气缸。由于双面抛光/研磨设备的使用环境对洁净度要求较高，设备通常在洁净厂房内使用，因此对设备的高度有所限制，对作用压力要求精确平稳。在实际生产中，如果采用市场上可采购到的标准气缸，压力精度、结构尺寸、洁净要求均不能满足工艺使用的要求。

发明内容：

本发明的目的在于避免现有技术的不足，提供一种紧凑型灵敏气缸。以解决因采用标准气缸导致设备高度过高及不易清洁的问题，同时实现对上盘系统压力的精确控制。

为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：一种紧凑型灵敏气缸，包括有气缸后盖(1)、气缸前盖(9)分别与缸筒(13)连接，缸筒(13)上设有上通气口(15)活塞杆(8)上设有活塞(5)，其主要特点是包括有在气缸后盖(1)上设有与主气缸连接用螺纹孔(2)。

所述的紧凑型灵敏气缸，所述的活塞杆(8)的杆端设有与拉力传感器连接的杆端螺纹。

所述的紧凑型灵敏气缸，在所述的气缸后盖(1)与活塞(5)之间设有上缓冲垫(14)；在气缸前盖(9)与活塞(5)之间设有下缓冲垫(7)。

所述的紧凑型灵敏气缸，在所述的活塞(5)上设有活塞密封圈(6)。

所述的紧凑型灵敏气缸，在所述的活塞密封圈(6)上涂有低摩擦润滑脂。所述的活塞密封圈(6)为特殊橡胶。

在所述的缸筒内壁采用珩磨加工，光洁度小于0.4μm。从而使气缸动作灵敏，启动压力0.005Mpa，而普通气缸为0.05MPa。

本发明的有益效果：

本发明上盘系统的升降和加压分别由两个串联的气缸完成，主气缸负责上盘系统的快速升降，加压缸负责上盘系统的压力控制。采用传统的标准气缸时，主气缸和加压气缸之间由过渡连接法兰连接，无形中增大了轴向尺寸。在本发明中，将加压气缸的后端盖加厚，并在后端盖中间位置做有与主气缸缸杆杆端螺纹一致的螺纹孔，这样主气缸可直接与加压气缸相连，省去了中间的过渡连接法兰。加压缸的缸杆前端外螺纹做成与拉力传感器的螺纹一致，加压缸与拉力传感器可直接相连，同样可省去中间的过渡零件。采用以上结构，有效的缩小了轴向安装尺寸，大大缩短了上盘系统的安装尺寸。前缸盖的焊接结构，后缸盖采用沉头螺钉连接，一方面头大大的增强了气缸使用安全性，另一方面气缸外观整齐，光滑美观。特殊的活塞密封件，不仅能够起到有效的密封作用，还实现了运动的低摩擦性，是实现上盘系统压力精确控制的有力保证。

本发明紧凑型灵敏气缸，主要应用于电子专用加工设备双面抛光/研磨机上盘系统的压力控制及缓升缓降用，也可用于其他需要精确压力控制及低速平稳动作控制的场合。

附图说明：

图1是本发明的结构示意图；

图2升降和加压两个气缸串联的结构示意图。

图中：1、气缸后盖；2、与主气缸连接用螺纹孔；3密封圈；4、螺钉连接孔；5、活塞；6、密封圈；7、缓冲垫；8、活塞杆；9、前盖；10、与拉力传感连接的杆端螺纹；11、密封圈；12、通气口；13、缸筒；14缓冲垫；15、通气口；16、主气缸杠杆；17、螺母。

具体实施方式：

以下对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本发明，并非用于限定本发明的范围。

实施例1：一种紧凑型灵敏气缸，包括有气缸后盖1、气缸前盖9分别与缸筒13连接，缸筒13上设有上通气口15活塞杆8上设有活塞5，包括有在气缸后盖1上设有与主气缸连接用螺纹孔2。所述的活塞杆8的杆端设有与拉力传感器连接的杆端螺纹。在所述的气缸后盖1与活塞5之间设有上缓冲垫14；在气缸前盖9与活塞5之间设有下缓冲垫7。在所述的活塞5上设有活塞密封圈6。在所述的活塞密封圈6上涂有低摩擦润滑脂。加压缸前缸盖与缸筒间采用焊接结构，后缸盖和缸筒采用沉头螺钉连接，后缸盖中间位置做有与主气缸缸杆杆端螺纹一致的螺纹孔，加压缸的缸杆杆端螺纹分为两段，其中前端外螺纹与拉力传感器的螺纹一致，气缸行程两端采用弹性缓冲，活塞采用整体式低摩擦型，在保证密封可靠的前提下，实现运动的低摩擦性。气缸侧面留有两个通气口，气缸内添加低摩擦润滑脂。

实施例2：如图2，所述的紧凑型灵敏气缸通过与主气缸连接用螺纹孔2与主气缸相连接。