[发明专利]光纤传感器、压力传感器、末端执行器以及应力检测方法

权利要求书

1.一种光纤传感器，其特征在于，

该光纤传感器具有：

应力检测传感器部(28、128、228)，其由排列着反射特定波长的光的光栅(26、126、226)的光纤(20、120、220)构成；以及

应力方向转换部(30、130、230)，其将从外部施加的应力转换为排列所述光栅(26、126、226)的方向的应力并传递给所述光纤(20、120、220)，

所述应力方向转换部(30、130、230)具有：平坦部(32、132、232)，其从外部被施加应力；以及应力传递部(34a、34b、134a、134b、234a、234b)，其从该平坦部(32、132、232)架设至所述光纤(20、120、220)，

将所述光纤(20、120、220)的、由所述光栅(26、126、226)所反射的所述特定波长的光通过的一端部沿着所述应力传递部(34a、34b、134a、134b、234a、234b)配置。

2.根据权利要求1所述的光纤传感器(22)，其特征在于，

所述平坦部(32)沿着排列所述光栅(26)的方向来配置，

所述应力传递部(34a、34b)由以下各部构成：第1倾斜部(36a)，其从所述平坦部(32)的一端部朝向所述光纤(20)倾斜；第1接合部(38a)，其与所述第1倾斜部(36a)相连，并包围所述光纤(20)的外周面中的靠近所述光栅(26)的一端部侧附近；第2倾斜部(36b)，其从所述平坦部(32)的另一端部朝向所述光纤(20)倾斜；以及第2接合部(38b)，其与所述第2倾斜部(36b)相连，并包围所述光纤(20)的外周面中的靠近所述光栅(26)的另一端部侧附近。

3.根据权利要求2所述的光纤传感器(22)，其特征在于，

将所述光纤(20)的一端部沿着所述第1倾斜部(36a)或所述第2倾斜部(36b)配置。

4.根据权利要求2所述的光纤传感器(22)，其特征在于，

所述应力传递部(34a、34b)还具有第3倾斜部(80、82)，该第3倾斜部(80、82)在与所述第1倾斜部(36a)和所述第2倾斜部(36b)分离的状态下，与所述第1接合部(38a)或所述第2接合部(38b)相连，

将所述光纤(20)的一端部沿着所述第3倾斜部(80、82)配置。

5.根据权利要求1所述的光纤传感器(122、222)，其特征在于，

在所述平坦部(132、232)形成有突起(144、180、182、244)和/或槽(145、183、247)。

6.根据权利要求5所述的光纤传感器(122)，其特征在于，

所述突起(144、182)和/或所述槽(145、183)为柱状。

7.根据权利要求5所述的光纤传感器(122)，其特征在于，

所述突起(144、182)和/或所述槽(145、183)沿着与排列所述光栅(126)的方向大致正交的方向形成。

8.根据权利要求5所述的光纤传感器(122)，其特征在于，

所述突起(180)和/或所述槽为点状。

9.根据权利要求5所述的光纤传感器(122、222)，其特征在于，

所述突起(144、180、182、244)和/或所述槽(145、183、247)在所述平坦部(132、232)设有多个。

10.根据权利要求5所述的光纤传感器(222)，其特征在于，

所述突起(244)和/或所述槽(247)由台阶部(246、249)和连接部(248a、248b)形成，所述台阶部(246、249)具有高度与所述平坦部(232)的表面不同的表面或表侧棱线，并且所述台阶部(246、249)具有高度与该平坦部(232)的背面不同的背面或背侧棱线，所述连接部(248a、248b)从所述台阶部(246、249)架设至所述平坦部(232)。

11.根据权利要求10所述的光纤传感器(222)，其特征在于，

所述台阶部(246、249)的前端部和/或最深部形成为锐角状。