[发明专利]氧化铟锡靶材浆料的制备方法

权利要求书

1.氧化铟锡靶材浆料的制备方法，其特征在于工艺步骤为：

以氧化铟锡纳米粉体、粘结剂A、分散剂B和溶剂C为原料，在常温条件下利用球磨罐进行12～48hrs球磨而成；

其中：氧化铟锡纳米粉体的粒径在5～300nm，纯度大于等于3N；粘结剂A和分散剂B的纯度≥99.5％；粘结剂A、分散剂B和溶剂C的质量比为0.5～3.0∶1～5∶100；氧化铟锡纳米粉体与粘结剂A、分散剂B和溶剂C组成的混合溶液的质量比1∶0.2～2.0；

所述粘结剂A选自纯丙乳液、苯丙乳液、硅丙乳液、醋丙乳液、丙烯酸乳胶中的1种；分散剂B选自聚乙二醇、聚丙烯酸铵、聚乙烯醇中的1种；溶剂C选自去离子水、乙醇、丙酮中的1种。

2.根据权利要求1所述氧化铟锡靶材浆料的制备方法，其特征在于工艺步骤为：将粘结剂A、分散剂B和溶剂C按质量比为0.5～3.0∶1～5∶100进行充分溶解而成预混溶液D；然后将氧化铟锡纳米粉体与预混溶液按质量比1∶0.2～2.0在球磨罐中进行12～48hrs球磨而成。