[发明专利]真空传输制程设备及方法

权利要求书

1.一种真空传输制程设备，其包括一真空制程腔，该真空制程腔中设有一用于利用一加工介质对工件进行加工的加工装置，其特征在于，该真空传输制程设备还包括：

至少两个可以在大气状态与真空状态之间切换的进出件腔，该些进出件腔中的一些连接于该真空制程腔一侧、其余进出件腔连接于该真空制程腔另一侧；

至少两个与各进出件腔一一对应的传输平台，各传输平台均可以承载工件在进出件腔与该真空制程腔之间沿直线路线往复移动，该加工介质的传输路径穿过各传输平台的移动路径；

至少一第一机械手臂，用于从大气环境向位于设于该真空制程腔一侧的进出件腔中的传输平台装载工件，以及从位于该些进出件腔中的传输平台向大气环境卸载工件；

至少一第二机械手臂，用于从大气环境向位于设于该真空制程腔另一侧的进出件腔中的传输平台装载工件，以及从该些进出件腔中的传输平台向大气环境卸载工件；

其中，该加工介质能够穿过各传输平台、但无法穿过工件，各传输平台用于依次连续地从进出件腔移向该真空制程腔并利用该加工介质完成对工件的半加工，然后从该真空制程腔移回进出件腔并利用该加工介质完成对工件的完全加工。

2.如权利要求1所述的真空传输制程设备，其特征在于，该些进出件腔中的一半连接于该真空制程腔一侧、另一半进出件腔连接于该真空制程腔另一侧。

3.如权利要求1或2所述的真空传输制程设备，其特征在于，各传输平台的移动平面各不相同。

4.如权利要求2所述的真空传输制程设备，其特征在于，相应于设于该真空制程腔一侧的进出件腔的传输平台与相应于设于该真空制程腔另一侧的进出件腔的传输平台两两移动平面相同。

5.如权利要求1-4中任意一项所述的真空传输制程设备，其特征在于，在各传输平台从进出件腔移向该真空制程腔的过程中，该加工介质完成对该传输平台上一侧工件的完全加工，在该传输平台从该真空制程腔移回进出件腔的过程中，该加工介质完成对该传输平台上另一侧工件的完全加工。

6.如权利要求1-4中任意一项所述的真空传输制程设备，其特征在于，在各传输平台从进出件腔移向该真空制程腔的过程中，该加工介质完成对该传输平台上全部工件的初步加工，在该传输平台从该真空制程腔移回进出件腔的过程中，该加工介质完成对该传输平台上全部工件的完全加工。

7.如权利要求1-6中任意一项所述的真空传输制程设备，其特征在于，在各传输平台从该真空制程腔移回进出件腔的过程中，当该传输平台上的最后一个工件离开该加工介质的传输路径后，该传输平台加速移回进出件腔。

8.一种真空传输制程设备，其包括一真空制程腔，该真空制程腔中设有一用于利用一加工介质对工件进行加工的加工装置，其特征在于，该真空传输制程设备还包括：

至少两个进出件腔，每个进出件腔均包括一第一腔室和一第二腔室，该些进出件腔中的一些的第一腔室连接于该真空制程腔一侧、第二腔室连通于该真空制程腔另一侧，其余进出件腔的第一腔室连接于该真空制程腔另一侧、第二腔室连通于该真空制程腔一侧，该些第一腔室可以在大气状态与真空状态之间切换；

至少两个与各进出件腔一一对应且移动平面各不相同的传输平台，各传输平台均可以承载工件沿着第一腔室、该真空制程腔、第二腔室的直线路线往复移动，该加工介质的传输路径穿过各传输平台的移动路径；

至少一第一机械手臂，用于从大气环境向位于设于该真空制程腔一侧的第一腔室中的传输平台装载工件，以及从该些第一腔室中的传输平台向大气环境卸载工件；

至少一第二机械手臂，用于从大气环境向位于设于该真空制程腔另一侧的第一腔室中的传输平台装载工件，以及从该些第一腔室中的传输平台向大气环境卸载工件；

其中，该加工介质能够穿过各传输平台、但无法穿过工件，各传输平台用于依次连续地从第一腔室移向第二腔室并利用该加工介质完成对工件的半加工，然后从第二腔室移回第一腔室并利用该加工介质完成对工件的完全加工。

9.如权利要求8所述的真空传输制程设备，其特征在于，该些进出件腔中的一半的第一腔室连接于该真空制程腔一侧、第二腔室连通于该真空制程腔另一侧，另一半进出件腔的第一腔室连接于该真空制程腔另一侧、第二腔室连通于该真空制程腔一侧。