[发明专利]排出部、涂敷装置以及涂敷方法

说明书

技术领域

本发明涉及排出流体的排出部、涂敷装置以及涂敷方法。

背景技术

在制造现有的有机EL(Electro-Luminescence：电致发光)显示装置时，存在如下方式：在形成含有发光层的有机EL层的工序中，在使具有排出液体的喷嘴孔的喷嘴沿基板移动的同时，从喷嘴孔连续地排出有机EL材料(溶液)而涂敷到基板上，由此形成有机EL层。

例如，在日本特开2002-75640号公报中公开了一种有机EL显示装置的制造方法，其特征在于，具备如下过程：预先在基板上形成与应涂敷有机EL材料的规定的图案形状相对应的槽，并以使喷嘴沿着该槽的方式使基板和喷嘴相对地移动，而使来自上述喷嘴的有机EL材料流入上述槽内而进行涂敷。

但是，日本特开2002-75640号公报所公开的喷嘴，相对于涂敷对象物的表面在垂直方向上一边移动一边排出液体。

因此，从喷嘴排出并落地到涂敷对象物上的液体，不是以向涂敷对象物的落地点为中心而大致均匀地扩散，而会从液体的落地点开始主要朝向喷嘴的前进方向扩散。特别是在涂敷对象物上存在凹凸的情况下，难以均匀地涂敷液体。

因此，特别是难以制造大型的有机EL基板，制品规格被限定。

此外，能够考虑到在规定的条件下涂敷含有发光层材料的液体以外的液体时，也会产生这种问题。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，其优点在于提供能够将液体均匀地涂敷到涂敷对象物的涂敷区域中的排出部、使用该排出部的涂敷装置以及其涂敷方法。

本发明的对涂敷对象物的涂敷区域排出液体的排出部为，具备：

主体，填充有上述液体；和

喷嘴板，设置在上述主体的一端侧，具有排出上述液体的排出路；

上述排出路的轴线相对于铅垂线，朝向上述排出部相对于上述涂敷区域相对地前进的前进方向的相反侧倾斜。

本发明的对涂敷对象物的涂敷区域涂敷液体的涂敷装置为，具备：

排出部，该排出部具有主体以及喷嘴板，该主体中填充有上述液体，该喷嘴板设置在上述主体的一端侧、具有排出上述液体的排出路；

移动部，使上述排出部或上述涂敷对象物的至少一个移动，以便上述排出部相对于上述涂敷对象物的上述涂敷区域相对地前进；以及

排出方向变更部，使上述排出路的轴线相对于铅垂线，朝向上述排出部相对于上述涂敷对象物的上述涂敷区域相对地前进的前进方向的相反侧倾斜。

本发明的向涂敷对象物的涂敷区域涂敷液体的涂敷方法为，

与具备排出上述液体的排出路的排出部相对于上述涂敷对象物的上述涂敷区域相对地前进的前进方向相对应，使上述排出路的轴线相对于铅垂线，朝向上述排出部相对于上述涂敷区域的相对的前进方向的相反侧倾斜，

以排出部相对于上述涂敷对象物的上述涂敷区域相对地在上述前进方向上前进的方式，一边使上述排出部或上述涂敷对象物的至少一个移动、一边从上述排出路向上述涂敷区域排出液体。

发明的效果：

根据本发明的排出部、涂敷装置以及涂敷方法，能够提供均匀地涂敷液体的排出部、涂敷装置以及均匀地涂敷液体的涂敷方法。

附图说明

图1是表示涂敷装置的整体结构的示意图。

图2是表示排出溶液的喷嘴相对于基板进行相对移动的情况的示意立体图。

图3是表示成为作为发光装置起作用的状态的基板、隔壁、像素电极、发光层以及对置电极的、图2中的Y方向截面图。

图4是示意地表示液体的排出状态时的本实施方式的喷嘴的截面图。

图5中，图5A是表示第一实施方式的喷嘴所具备的排出方向变更部的主视图(一部分包含截面图)，图5B是仰视图。

图6中，图6A是表示使喷嘴从图5的状态以轴线为中心旋转了180度的状态的、喷嘴的排出方向变更部的主视图(一部分包含截面图)，图6B是仰视图。

图7中，图7A是表示现有喷嘴中的对于基板的相对的溶液排出速度的矢量图，图7B是表示本发明实施方式的喷嘴中的对于基板的相对的溶液排出速度的矢量图。

图8中，图8A是表示从现有喷嘴排出的溶液落地到基板上的两个瞬间的图，图8B是表示从本实施方式的喷嘴排出的溶液落地到基板上的两个瞬间的图。

图9中，图9A是将图8A所示的区域A放大表示的图，图9B是将图8B所示的区域A放大表示的图。

图10中，图10A是表示现有喷嘴一边排出溶液一边越过隔壁的两个瞬间的状态的图。图10B是本实施方式的喷嘴一边排出溶液一边越过隔壁的两个瞬间的状态的图。