[发明专利]晶圆位置的检测装置

权利要求书

1.一种晶圆位置的检测装置，其特征在于，包括：

发射单元、接收单元和控制单元；

所述发射单元、接收单元设置于晶圆真空检测室的内部传送门上，所述发射单元配置为发射第一信号；所述接收单元配置为当晶圆位置未处于检测区域时接收所述发射单元发射的第一信号，并于接收到所述第一信号后产生并传送第二信号给所述控制单元；

所述控制单元配置为在预定时间间隔内未接收到所述接收单元传送的第二信号时控制所述内部传送门保持开启状态。

2.根据权利要求1所述的晶圆位置的检测装置，其特征在于，所述发射单元、接收单元为激光传感器，所述第一信号为激光信号。

3.根据权利要求1所述的晶圆位置的检测装置，其特征在于，所述发射单元和接收单元分别相对设置于内部传送门的顶部和底部。

4.根据权利要求1所述的晶圆位置的检测装置，其特征在于，还包括反射单元，设置于所述内部传送门上，包括至少一组反射子单元，每组反射子单元由两块反射镜组成，用于将所述发射单元发射的第一信号反射至所述接收单元。

5.根据权利要求4所述的晶圆位置的检测装置，其特征在于，所述反射单元包括偶数组反射子单元，所述反射子单元依次设置于所述内部传送门的底部和顶部，所述发射单元和接收单元分别设置于所述内部传送门的顶部和底部。

6.根据权利要求4所述的晶圆位置的检测装置，其特征在于，所述反射单元包括奇数组反射子单元，所述反射子单元依次设置于所述内部传送门上的底部和顶部，所述发射单元和接收单元均设置于所述内部传送门的顶部或均设置于所述内部传送门的底部。

7.根据权利要求5或6所述的晶圆位置的检测装置，其特征在于，每组反射子单元的两块反射镜分别在水平向右方向呈45度和135度相对设置。

8.根据权利要求6所述的晶圆位置的检测装置，其特征在于，所述发射单元和接收单元均设置于所述内部传送门的底部，所述反射单元包括三组反射子单元，其中，

第一组和第三组反射子单元均设置于所述内部传送门的顶部，其各自包括的两块反射镜分别与水平向右方向呈45度和135度且相对设置；第二组反射子单元设置于所述内部传送门的底部，位于所述发射单元与接收单元之间，其包括的两块反射镜分别与水平向右方向呈135度和45度且相对设置；

第一组反射子单元中与水平向右方向呈45度的反射镜的入射信号为所述发射单元发送的第一信号，第三反射子单元中与水平向右方向呈135度的反射镜的反射信号由所述接收单元接收；

第一组反射子单元中与水平向右方向呈135度的反射镜与第二组反射子单元中与水平向右方向呈135度的反射镜在垂直方向上相对设置；第二组反射子单元中与水平向右方向呈45度的反射镜和第三组反射子单元中与水平向右方向呈45度的反射镜在垂直方向上相对设置。

9.根据权利要求6所述的晶圆位置的检测装置，其特征在于，所述发射单元和接收单元均设置于所述内部传送门的顶部，所述反射单元包括三组反射子单元，其中，

第一组和第三组反射子单元均设置于所述内部传送门的底部，其各自包括的两块反射镜分别与水平向右方向呈135度和45度且相对设置；第二组反射子单元设置于所述内部传送门的顶部，位于所述发射单元与接收单元之间，其包括的两块反射镜分别与水平向右方向呈45度和135度且相对设置；

第一组反射子单元中与水平向右方向呈135度的反射镜的入射信号为所述发射单元发送的第一信号，第三反射子单元中与水平向右方向呈45度的反射镜的反射信号由所述接收单元接收；

第一组反射子单元中与水平向右方向呈45度的反射镜与第二组反射子单元中与水平向右方向呈45度的反射镜在垂直方向上相对设置；第二组反射子单元中与水平向右方向呈135度的反射镜和第三组反射子单元中与水平向右方向呈135度的反射镜在垂直方向上相对设置。

10.根据权利要求8或9所述的晶圆位置的检测装置，其特征在于，所述第二组反射子单元所包括的两块反射镜之间的距离小于晶圆的直径。

11.根据权利要求8或9所述的晶圆位置的检测装置，其特征在于，所述第二组反射子单元所包括的两块反射镜之间的距离小于晶圆的半径。

12.根据权利要求1所述的晶圆位置的检测装置，其特征在于，还包括提示单元，配置为当所述控制单元在预定时间间隔内未接收到所述接收单元传送的第二信号时发出提示。