[发明专利]一种微通道板的实体边玻璃

说明书

技术领域

本发明涉及一种微通道板的实体边玻璃。

背景技术

微通道板（简称为MCP）是由可多达数百万个规则紧密排列的细微空心玻璃管组成的通道式电子倍增器件，是由铅硅盐酸玻璃的表面还原特性和良好的融合光纤加工制造的。

    作为上述电子倍增器的MCP，其检测对象以电子，离子，X射线等，且有小型重量轻的特点，而且具有优异的高增益性。

由于MCP的形状如一聚集了上百万个细微的平行空心玻璃管的薄圆片，所以它的机械特性主要靠实体边玻璃来得到保证。近年来由于对MCP高分辨率、高速应答性等特性要求的进一步提高，一直希望MCP的通道直径缩小，直径小于6um或通道的间距缩短，随之MCP的厚度也相应变薄，而这些都对MCP机械特性造成影响，更提高了对实体边玻璃的要求。

    MCP传统工艺采用玻璃多纤维拉制工艺，其工艺过程包括单丝拉制→复丝拉制→熔压→切割、研磨、抛光→化学腐蚀→氢还原→镀膜→检测，在这一工艺过程中前期涉及有三种玻璃,如图1所示，为实体边玻璃1、通道基板玻璃2（铅硅酸盐玻璃）、通道内玻璃3（易溶的镧系玻璃，此玻璃在化学腐蚀过程中被溶掉）。在氢还原过程中通道基板玻璃2的表面被还原出原子铅，造成整个基板的热膨胀系数发生改变，这也就要求实体边玻璃不仅要有良好的的机械特性，更要有适合整个适合工艺过程的玻璃性能变化的热学性质及熔体性质。

然而现有技术的实体边玻璃1采用与通道基板玻璃2相同的材料拉制成管，管内套用耐酸溶的玻璃填充。这种形式由于受通道基板玻璃物理化学性质影响，在通道直径变小到一种程度后（6um以下），在MCP制作过程中由于整个基板的热膨胀系数发生改变而使实体边玻璃1会出现大量的变形情况，影响了微通道板的品质。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是克服现有技术中所存在的上述不足，而提供一种不会变形的用于微通道板的实体边玻璃。

本发明解决上述技术问题所采用的技术方案是：一种用于微通道板的实体边玻璃，其特征在于：该实体边玻璃按重量份数包括下列成份：

SiO₂                65-75份

∑(Na₂O+K₂O)         15-20份

∑(CaO+BaO)         8-13份

Al₂O₃                0-2份

B₂O₃                 1-5份

ZnO                 0-1份。

优化的，该实体边玻璃按重量份数包括下列成份：

SiO₂          71份

K₂O           6.0份

Na₂O          10.5份

CaO           8.5份

BaO           1.0份

Al₂O₃                   0.5份

B₂O₃                     2.5份。

优化的，该实体边玻璃按重量份数包括下列成份：

SiO₂                    67份

K₂O           5.8份

Na₂O          10.1份

CaO           9.0份

BaO           2.0份

ZnO           1.0份

Al₂O₃                    1.1份

B₂O₃                     4.0份。

优化的，该实体边玻璃按重量份数包括下列成份：

SiO₂                       70份

K₂O            4.0份