[发明专利]湿处理装置及湿处理方法

权利要求书

1.一种湿处理装置，用于对基板进行湿处理，所述湿处理装置包括第一湿处理单元、第二湿处理单元、清洗单元、收板槽和放板单元，所述清洗单元、收板槽和放板单元均位于所述第一湿处理单元和第二湿处理单元之间，所述第一湿处理单元用于对基板进行第一湿处理，其具有用于储存第一湿处理液的第一储存槽，所述第二湿处理单元用于对基板进行第二湿处理，其具有用于储存第二湿处理液的第二储存槽，所述清洗单元用于对基板进行清洗，其包括引导传送机构和清洗液喷淋机构，所述引导传送机构用于将经所述第一湿处理单元处理后的基板传送至收板槽，所述清洗液喷淋机构与所述引导传送机构相对，用于向所述引导传送机构传送的基板喷淋清洗液，所述收板槽内盛有保存液，用于浸置自引导传送机构传送的基板，所述放板单元与收板槽相对，用于从所述收板槽的保存液中吸取基板，并将所述基板放置于所述第二湿处理单元以进行第二湿处理。

2.如权利要求1所述的湿处理装置，其特征在于，所述引导传送机构包括相邻的传输部和下板部，所述传输部与清洗液喷淋机构相对，所述收板槽靠近所述下板部，所述下板部的传输方向与所述传输部的传输方向成锐角，且向靠近收板槽的方向倾斜，以使自传输部传送至下板部的基板落入收板槽。

3.如权利要求1所述的湿处理装置，其特征在于，所述清洗单元还包括用于储存清洗液的清洗液储存槽，所述清洗液喷淋机构与所述清洗液储存槽相连通，所述引导传送机构位于所述清洗液储存槽和所述清洗液喷淋机构之间，所述引导传送机构包括多根承载传送滚轮和多根压制传送滚轮，所述多根承载传送滚轮并排设置，且均靠近所述清洗液储存槽，所述多根压制传送滚轮并排设置，且均靠近所述清洗液喷淋机构，所述多根承载传送滚轮和多根压制传送滚轮相对设置，用于传送位于多根承载传送滚轮和多根压制传送滚轮之间的基板。

4.如权利要求3所述的湿处理装置，其特征在于，所述清洗单元与所述第一湿处理单元相邻设置，所述第一湿处理单元还包括第一传送机构和第一喷淋机构，所述第一传送机构连接于所述引导传送机构的一端，用于将基板传送至所述清洗单元的引导传送机构，所述第一传送机构位于所述第一储存槽与第一喷淋机构之间，所述第一喷淋机构与第一储存槽相连通，用于向所述第一传送机构传送的基板喷出第一湿处理液。

5.如权利要求4所述的湿处理装置，其特征在于，所述第一传送机构包括多根第一承载传送辊和多根第一压制传送辊，所述多根第一承载传送辊均靠近所述第一储存槽，所述多根第一承载传送辊并排设置，且与所述引导传送机构的多根承载传送滚轮相邻，所述多根第一压制传送辊均靠近所述第一喷淋机构，所述多根第一压制传送辊并排设置，且与所述引导传送机构的多根压制传送滚轮相邻，所述多根第一承载传送辊和多根第一压制传送辊相对设置，用于传送位于多根第一承载传送辊和多根第一压制传送辊之间的基板。

6.如权利要求1所述的湿处理装置，其特征在于，所述第一湿处理单元还包括一个第一湿处理液调节器，所述第一湿处理液调节器用于监控所述第一储存槽内的第一湿处理液的浓度并在该浓度低于预定值时进行补充调节。

7.如权利要求1所述的湿处理装置，其特征在于，所述第二湿处理单元还包括第二传送机构和第二喷淋机构，所述第二传送机构位于所述第二储存槽与第二喷淋机构之间，所述第二传送机构用于传送来自放板单元的基板，所述第二喷淋机构与第二储存槽相连通，用于向所述第二传送机构传送的基板喷出第二湿处理液。

8.如权利要求7所述的湿处理装置，其特征在于，所述第二传送机构包括多根第二承载传送辊和多根第二压制传送辊，所述多根第二承载传送辊并排设置，且均靠近所述第二储存槽，所述多根第二压制传送辊并排设置，且均靠近所述第二喷淋机构，所述多根第二承载传送辊和多根第二压制传送辊相对设置，用于传送位于多根第二承载传送辊和多根第二压制传送辊之间的基板。

9.如权利要求1所述的湿处理装置，其特征在于，所述放板单元包括一个移动臂、一个安装架和多个吸盘，所述安装架连接于所述移动臂，所述移动臂用于带动安装架移动，所述多个吸盘相互间隔地安装于所述安装架，用于在移动臂带动下浸入保存液中吸取基板。

10.一种使用如权利要求1所述的湿处理装置的湿处理方法，包括步骤：

提供基板；

将所述基板送入所述第一湿处理单元进行第一湿处理；将经所述第一湿处理单元处理后的基板置于所述清洗单元，使所述清洗液喷淋机构对所述引导传送机构传送的基板喷淋清洗液以进行清洗，并使清洗后的基板落入所述收板槽内；

通过所述放板单元从所述收板槽的保存液中吸取基板，并将所述基板放置于所述第二湿处理单元以对基板进行第二湿处理。