[发明专利]基于内嵌共面波导结构的行波型光调制器

权利要求书

1.基于内嵌共面波导结构的行波型电光调制器，其特征是：光波导芯层内嵌于共面波导电极之间，电极由调制区域(2)、过渡区域(3)、输入和输出区域(4、5)构成，其中电极的材料为金。

2.根据权利要求1所述的一种基于内嵌共面波导结构的行波型光调制器，其特征是：光波导芯层(1)位于共面波导电极(2)之间，各个区域的电极(2～5)尺寸是不同的。反脊型波导的脊宽为3μm，脊高为1μm，基板厚度为6μm。

3.根据权利要求1～2所述的一种基于内嵌共面波导结构的行波型光调制器，其特征是：电极的过渡区域(3)采用1/4椭圆的渐近结构，其中心电极宽度逐渐增加。共面波导电极中心电极尺寸为85μm，电极间距为18μm。

4.根据权利要求1～3所述的一种基于内嵌共面波导结构的行波型光调制器，其特征是：在连接模块处，电极的间距为0.305mm，中心电极的宽度为0.305mm。各个区域电极(2～5)的特征阻抗保持标准匹配阻抗50Ω。