[发明专利]载置器

说明书

技术领域

本发明涉及一种含有钛成分的陶瓷电容器的烧成用载置器。

背景技术

作为陶瓷电容器烧成用载置器，除了耐热性、机械性强度以外，还要求其与烧成的陶瓷电容器不发生反应。

通常，在电子零件烧成用载置器的基材中使用耐热冲击性优良的硅酸铝系的高氧化铝质材料，为了防止被烧成零件与基材成分的反应，实施的方法为载放高温下的化学稳定性优越的氧化锆制的载置器，或是形成氧化锆粉末的烧结层、喷镀覆膜。其中，最近，因窑具的耐久性和使用的简易性而采用喷镀窑具。在该喷镀中使用的氧化锆是含有CaO、Y₂O₃、MgO、CeO₂等稳定剂的稳定化或半稳定化氧化锆，或是仅为氧化锆的未稳定氧化锆。

但是，电子零件成分的构成含有以钛酸钡、钛酸锶为首的多种多样的副原料成分，这样的电子零件的构成成分在烧成中与窑具表面的氧化锆喷覆膜相互作用，导致损坏电子零件的电气特性或喷覆膜早期剥离的问题。作为解决该问题的方法，公开的技术为设置含有与烧成的电子零件相同或类似组成的材料的氧化锆的喷覆膜(专利文献1)。

但是，在专利文献1所述的技术中，在被烧成物为含有钛成分的陶瓷电容器的场合，发生了以下问题：在载置器与陶瓷电容器的接触部分或其附近，发生了化学反应，在陶瓷电容器上发生变色、热粘结，或因组成改变而降低特性。

另外，在载置器与陶瓷电容器的接触部分或其附近，在发生化学反应的情况下，不仅在陶瓷电容器上发生产品不良的问题，还产生载置器寿命降低的问题。

专利文献1特开2000-247752号公报

发明内容

本发明的目的是解决上述问题，提供一种烧成用载置器，在烧成含有钛成分的陶瓷电容器时，在载置器与陶瓷电容器的接触部分或其附近，该载置器与陶瓷电容器双方不会发生组成变化的问题。

为了解决上述问题而制成的本发明的烧成用载置器是一种在含有钛成分的陶瓷电容器的烧成中使用的载置器，其特征在于，在基材的表面具有含有锆酸盐的表层，该表层的钛成分的含量以二氧化钛计为0～0.1质量％。

方案2所述的发明是根据方案1所述的烧成用载置器，其特征在于，表层的成分为锆酸盐和稳定化氧化锆。

方案3所述的发明是根据方案1或2所述的烧成用载置器，其特征在于，表层厚度为5～500μm。

方案4所述的发明是根据方案1～3任一项所述的烧成用载置器，其特征在于，锆酸盐含有BaZrO₃、SrZrO₃、CaZrO₃、MgZrO₃中的至少一种。

方案5所述的发明是根据方案1～4任一项所述的烧成用载置器，其特征在于，基材的气孔率为10～50％。

本发明涉及的烧成用载置器是在含有钛成分的陶瓷电容器的烧成中使用的载置器，在基材的表面具有含有锆酸盐的表层，通过使该表层的TiO₂成分含量为0～0.1质量％，来减少烧成时表层中含有的二氧化钛与被烧成物(以BaTiO₃为主成分的陶瓷电容器)接触的几率，抑制载置器与陶瓷电容器的接触部分或其附近的该TiO₂的催化作用。由此，能够实现在载置器与陶瓷电容器的接触部分或其附近，载置器和陶瓷电容器双方不发生组成变化的问题的烧成用载置器。

具体实施方式

本发明的烧成用载置器是例如以BaTiO₃为主成分的陶瓷电容器的烧成中使用的载置器，在由硅酸铝质或氧化锆质等构成的任意的基材的表面具有含有锆酸盐的表层，该表层的钛成分的含量以二氧化钛计为0～0.1质量％。

构成本发明的表层含有由BaZrO₃、SrZrO₃、CaZrO₃、MgZrO₃中的至少一种构成的锆酸盐，且抑制钛成分的含量以二氧化钛计为0～0.1质量％。

这样，通过预先使载置器表层含有锆酸盐，抑制以下问题：在烧成时，被烧成物中含有的低熔点金属氧化物(BaO、MnO、CaO、SrO、NiO等)扩散，在与作为载置器表层形成的氧化锆层之间一部分被锆酸盐化(在被烧成物与载置器之间组成发生变动)的问题。