[发明专利]搬送机构和加工装置有效
申请号: | 201010281073.4 | 申请日: | 2010-09-10 |
公开(公告)号: | CN102024733A | 公开(公告)日: | 2011-04-20 |
发明(设计)人: | 增田幸容;饭塚健太吕 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 陈坚 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 机构 加工 装置 | ||
1.一种搬送机构,其特征在于,
该搬送机构包括:
搬送臂,该搬送臂在收纳区域、临时放置区域以及工件的作业区域之间搬送所述工件,所述收纳区域是将所述工件收纳于盒内的区域,所述临时放置区域是与所述收纳区域相邻并临时放置所述工件的区域,所述工件的作业区域隔着所述临时放置区域与所述工件的收纳区域对置;以及
移动机构,该移动机构在一个方向上和另一个方向上使所述搬送臂移动,所述一个方向是从所述收纳区域朝向所述作业区域的方向,所述另一个方向是从所述作业区域朝向所述收纳区域的方向,
在所述搬送臂的所述收纳区域侧设有:对所述工件的在所述一个方向上的前端侧进行保持的第一保持部;以及与所述工件的在所述另一个方向上的后端侧抵接的第一抵接部,在所述搬送臂的所述作业区域侧设有:对所述工件的在所述另一个方向上的前端侧进行保持的第二保持部;以及与所述工件的在所述一个方向上的后端侧抵接的第二抵接部,
所述移动机构能够执行以下动作:
在所述一个方向上使所述搬送臂移动,以将保持于所述第一保持部的所述工件从所述收纳区域抽出至所述临时放置区域的动作;
在所述一个方向上,使所述搬送臂在所述临时放置区域绕至所述工件的后端侧,并使所述搬送臂移动,以利用所述第二抵接部将所述工件推入所述作业区域的动作;
在所述另一个方向上使所述搬送臂移动,以将保持于所述第二保持部的所述工件从所述作业区域抽出至所述临时放置区域的动作;以及
在所述另一个方向上,使所述搬送臂在所述临时放置区域绕至所述工件的后端侧,并使所述搬送臂移动,以利用所述第一抵接部将所述工件推入所述收纳区域的动作。
2.根据权利要求1所述的搬送机构,其特征在于,
所述移动机构构成为在所述一个方向和所述另一个方向上使所述搬送臂往复移动,并且使所述搬送臂上下移动,从而使所述搬送臂从高度方向绕至所述工件的后端侧。
3.一种加工装置,其特征在于,
该加工装置包括:
权利要求1或权利要求2中记载的搬送机构;以及
对由所述搬送机构搬送的所述工件进行加工的加工单元。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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