[发明专利]一种RFID高频芯片四通道测试装置及方法

权利要求书

1.一种RFID高频芯片四通道测试装置，其特征在于，包括：

一探针台，包括一运动平台与一探针卡，所述运动平台承载待测晶圆，所述晶圆上规则分布有多片待测RFID高频芯片，所述探针卡上设置有探针，用于在测试时和所述RFID高频芯片接触；

一上位机，与所述探针台连接，用于控制所述运动平台的移动；

一RFID阅读器，用于和所述RFID高频芯片通讯；

所述上位机连接所述RFID阅读器并控制其发出测试信号，根据所述待测芯片返回信号判断测试结果，保存到数据库。

2.根据权利要求1所述的RFID高频芯片四通道测试装置，其特征在于，所述待测晶圆上四片芯片为一组，分别通过四个频率通道与所述RFID阅读器进行信号交换。

3.根据权利要求1所述的RFID高频芯片四通道测试装置，其特征在于，所述探针卡设有八根探针，每两根为一组且相互平行排列，所述每个待测芯片使用一组探针进行测试。

4.根据权利要求1所述的RFID高频芯片四通道测试装置，其特征在于，所述上位机通过GPIB与所述探针台连接。

5.根据权利要求1所述的RFID高频芯片四通道测试装置，其特征在于，所述上位机通过RS-232与所述RFID阅读器连接。

6.一种如权利要求1所述的RFID高频芯片四通道测试装置的测试方法，其特征在于，包括以下步骤：

加载一RFID高频半导体晶圆片至所述探针台；

所述上位机控制所述运动平台沿X-Y轴定向运动，使得所述运动平台带动第一组待测RFID高频芯片移动到所述探针下面；

所述上位机控制所述运动平台沿Z轴定向运动，使得所述运动平台向上抬升，所述探针与所述待测芯片接触；

所述上位机打开测试频道，控制所述RFID阅读器发出所需测试的信号，根据所述待测芯片返回的信号判断测试结果，并把测试时间、通道号、芯片位置、发送及接收的信号和测试结果保存到数据库中；

所述上位机根据测试结果对不合格芯片作标记；

所述上位机控制所述运动平台沿X-Y轴定向运动，使得所述运动平台带动第二组待测RFID高频芯片移动到所述探针下面；

重复上述步骤直到所述待测晶圆上所有的RFID高频芯片组被测试完毕为止。