[发明专利]用于薄膜硅光电装置的硅烷的添加剂

权利要求书

1.一种在基底上淀积作为光电导膜的太阳能级无定形硅薄膜(αSi:H)的方法，其使用

甲硅烷；

氢；和

至少一种选自以下的添加剂：

(a)更高级直链硅烷，包括：乙硅烷Si₂H₆、丙硅烷Si₃H₈、丁硅烷Si₄H₁₀、戊硅烷Si₅H₁₂、己硅烷Si₆H₁₄、庚硅烷Si₇H₁₆、辛硅烷Si₈H₁₈、壬硅烷Si₉H₂₀、癸硅烷Si₁₀H₂₂及其混合物；

(b)更高级支链硅烷，包括：2-甲硅烷基-丙硅烷SiH₃-Si(H)(SiH₃)-SiH₃、2，2-二甲硅烷基-丙硅烷SiH₃-Si(SiH₃)₂-SiH₃、2-甲硅烷基-丁硅烷SiH₃-Si(H)(SiH₃)-SiH₂-SiH₃、2，3-二甲硅烷基丁硅烷SiH₃-SiH(SiH₃)-SiH(SiH₃)-SiH₃、2，2-二甲硅烷基丁硅烷SiH₃-Si(SiH₃)₂-SiH₂-SiH₃、3-甲硅烷基戊硅烷SiH₃-SiH₂-SiH(SiH₃)-SiH₂-SiH₃、2-甲硅烷基戊硅烷SiH₃-SiH(SiH₃)-SiH₂-SiH₂-SiH₃、2，3-二甲硅烷基戊硅烷SiH₃-SiH(SiH₃)-SiH(SiH₃)-SiH₂-SiH₃、2，4-二甲硅烷基戊硅烷SiH₃-SiH(SiH₃)-SiH₂-SiH(SiH₃)-SiH₃、2-甲硅烷基己硅烷SiH₃-SiH(SiH₃)-(SiH₂)₃-SiH₃、3-甲硅烷基己硅烷SiH₃-SiH₂-SiH(SiH₃)-(SiH₂)₂-SiH₃、2，2-二甲硅烷基戊硅烷SiH₃-Si(SiH₃)₂-(SiH₂)₂-SiH₃、3，3-二甲硅烷基戊硅烷SiH₃-SiH₂-Si(SiH₃)₂-SiH₂-SiH₃、2，2，3-三甲硅烷基丁硅烷SiH₃-Si(SiH₃)₂-SiH(SiH₃)-SiH₃、2-甲硅烷基庚硅烷SiH₃-SiH(SiH₃)-(SiH₂)₄-SiH₃、3-甲硅烷基庚硅烷SiH₃-SiH₂-SiH(SiH₃)-(SiH₂)₃-SiH₃、4-甲硅烷基庚硅烷SiH₃-(SiH₂)₂-SiH(SiH₃)-(SiH₂)₂-SiH₃、2，2-二甲硅烷基己硅烷SiH₃-Si(SiH₃)₂-(SiH₂)₃-SiH₃、2，3-二甲硅烷基己硅烷SiH₃-SiH(SiH₃)-SiH(SiH₃)-(SiH₂)₂-SiH₃、2，4-二甲硅烷基己硅烷SiH₃-SiH(SiH₃)-SiH₂-SiH(SiH₃)-SiH₂-SiH₃、2，5-二甲硅烷基己硅烷SiH₃-SiH(SiH₃)-(SiH₂)₂-SiH(SiH₃)-SiH₃、3，3-二甲硅烷基己硅烷SiH₃-SiH₂-Si(SiH₃)₂-(SiH₂)₂-SiH₃、3，4-二甲硅烷基己硅烷SiH₃-SiH₂-SiH(SiH₃)-SiH(SiH₃)-SiH₂-SiH₃、2，2，3-三甲硅烷基戊硅烷SiH₃-Si(SiH₃)₂-SiH(SiH₃)-SiH₂-SiH₃、2，2，4-三甲硅烷基戊硅烷SiH₃-Si(SiH₃)₂-SiH₂-SiH(SiH₃)-SiH₃、2，3，3-三甲硅烷基戊硅烷SiH₃-SiH(SiH₃)-Si(SiH₃)₂-SiH₂-SiH₃、2，3，4-三甲硅烷基戊硅烷SiH₃-SiH(SiH₃)-SiH(SiH₃)-SiH(SiH₃)-SiH₃、2，2，3，3-四甲硅烷基丁硅烷SiH₃-Si(SiH₃)₂-Si(SiH₃)₂-SiH₃及其混合物；

(c)环硅烷，选自：环丙硅烷Si₃H₆、环丁硅烷Si₄H₈、环戊硅烷Si₅H₁₀、环己硅烷Si₆H₁₀及其混合物；

(d)甲硅烷基取代的环硅烷，选自：甲硅烷基环丁硅烷SiH₃-Si₄H₇、1，2-二甲硅烷基环戊硅烷(SiH₃)₂-Si₅H₈、甲硅烷基环己硅烷SiH₃-Si₆H₁₁、1，3-二甲硅烷基环己硅烷(SiH₃)₂-Si₆H₁₀及其混合物；

(e)甲硅烷基取代的硅烯，选自：2-丁硅烯SiH₃-SiH＝SiH-SiH₃、2，3-二甲硅烷基丁硅-2-烯SiH₃-Si(SiH₃)＝Si(SiH₃)-SiH₃、2，3-二甲硅烷基戊硅-2-烯SiH₃-Si(SiH₃)＝Si(SiH₃)-SiH₂-SiH₃、2，5-二甲硅烷基己硅-2-烯SiH₃-Si(SiH₃)＝SiH-SiH₂-SiH(SiH₃)-SiH₃、2，3，4-三甲硅烷基己硅-2-烯SiH₃-Si(SiH₃)＝Si(SiH₃)-SiH(SiH₃)-SiH₂-SiH₃及其混合物；

(f)卤代硅烷，包括：1，1-二氯乙硅烷SiHCl₂SiH₃、1，1，1，2-四氟乙硅烷SiF₃-SiH₂F、1，2-二氯-1，2-二氟丁硅烷SiHClF-SiClF-SiH₂-SiH₃、1，1，1-三氯丙硅烷SiCl₃-SiH₂-SiH₃、1，1-二氟-1，2，2-三氯丙硅烷SiF₂Cl-SiCl₂-SiH₃、氯代戊硅烷SiH₂Cl-(SiH₂)₃-SiH₃和通式为Si_wH_2w+2-zX_z的其他化合物，其中X＝F、Cl、Br、I，w可为1-20，且z可为1至2w+2；2-氯丁硅-2-烯SiH₃-SiCl＝SiH-SiH₃、1，1-二氯-2-氟戊硅-2-烯SiHCl₂-SiF＝SiH₂-SiH₂-SiH₃、2，3-二氯丁硅-2-烯SiH₃-SiCl＝SiCl-SiH₃和通式为Si_wH_2w-zX’_z的其他化合物，其中X’＝F、Cl、Br、I，w可为2-20和z可为1至2w；及其混合物；和

(g)卤代环硅烷，选自氯代环戊硅烷Si₅H₉Cl、十二氯环己硅烷Si₆Cl₁₂、1-氯-1-氟环戊硅烷Si₅H₈FCl及其混合物。