[发明专利]用于感测加速度的微机械系统

权利要求书

1.用于感测加速度的微机械系统(100)，包括：

基底(105)；

具有第一和对置的第二杠杆臂(130，135)的摆臂式质量结构(125)，这些杠杆臂安置得与基底(105)间隔开并且可绕一转动轴线(14)相对于基底(105)翻转；和

在基底(105)上构造的第一和第二电极(110，115)，其中，每个电极各与一个杠杆臂(130，135)对置；

其特征在于，

每个杠杆臂(130，135)包括一个从所述转动轴线(140)延伸出的区段(160，165)，所述区段位于所述电极(110，115)之间的中间空隙的上方并且两个区段(160，165)具有不同的质量。

2.根据权利要求1的系统，其特征在于，所述区段(160，165)中的一个比所述区段(160，165)中的另一个具有更大的留空(210，220)。

3.根据权利要求1或2的系统，其特征在于，所述区段(160，165)中的一个包括一附加质量。

4.根据前述权利要求之一的系统，其特征在于，两个所述杠杆臂(130，135)自转动轴线(140)延伸相同远。

5.根据前述权利要求之一的系统，其特征在于，在所述电极(110，115)之间的中间空隙中在基底(105)上设置有一附加电极(120)。

6.根据权利要求5的系统，其特征在于，所述质量结构(125)在朝向基底(105)的下侧面具有一覆盖层(310)，该覆盖层关于转动轴线(140)镜像对称地构造。

7.根据权利要求6的系统，其特征在于，设置有三个功能层(320，330，340)，其中，电极(110，115)是第一功能层(320)的部分，覆盖层(310)是第二功能层(330)的部分并且质量结构(125)是第三功能层(340)的部分。

8.根据前述权利要求之一的系统，其特征在于，所述质量结构(125)与基底(105)通过一固定结构(170)连接，其中，该固定结构(170)包括一扭转弹簧(240)，该扭转弹簧抵抗质量结构(125)相对于基底(105)的翻转。

9.根据权利要求8的系统，其特征在于，所述固定结构(170)与基底(105)连接。