[发明专利]固体摄像装置

说明书

技术领域

本发明涉及固体摄像装置。

背景技术

作为固体摄像装置，已知有以CMOS图像传感器为代表的CMOS固体摄像装置、和以CCD图像传感器为代表的CCD固体摄像装置。CMOS固体摄像装置有表面入射型(front-side illumination)固体摄像装置、和背面照射型(back-side illumination)固体摄像装置。在表面入射型固体摄像装置中，入射光入射到半导体基板的表面。在背面入射型固体摄像装置中，入射光入射到半导体基板的背面。

背面照射型固体摄像装置与这样的表面入射型固体摄像装置相比，能够实现高画质化及多像素化，近年来被广泛地开发。在日本特开2005-268643号公报中公开了这种背面照射型固体摄像装置。

在该专利公报所示的背面照射型固体摄像装置中，具有微透镜、和形成有光电变换部的硅基板，其中由该微透镜聚光的光入射到光电变换部。微透镜是低折射率，由有机材料构成。硅基板是高折射率。当光从微透镜向光电变换部入射时，因入射光的干涉而发生图像的劣化，入射光的透射率下降。

发明内容

需要抑制这样的入射光的干涉。

根据一个实施方式，提供一种固体摄像装置。该装置具有半导体基板。在该半导体基板的表面区域中设有第1至第3光电变换部。蓝色滤色器设在对应于上述第1光电变换部的位置，具有带来第1光程的膜厚。绿色滤色器设在对应于上述第2光电变换部的位置，具有带来比上述第1光程长的第2光程的膜厚。红色滤色器设在对应于上述第3光电变换部的位置，具有带来比上述第2光程长的第3光程的膜厚。

平坦化膜，形成在上述蓝色、绿色及红色的滤色器(多个)上，使上述滤色器(多个)的阶差平坦化。微透镜(多个)，分别设在对应于上述第1至第3光电变换部的位置，并且设在上述平坦化膜上。

根据另一技术方案，提供一种固体摄像装置。该装置具备具有两个主面的半导体基板。在该半导体基板的上述主面(多个)的一个主面上形成有配线区域部。

在半导体基板中与上述一个主面相接的表面区域中形成有第1至第3光电变换部。

蓝色滤色器在上述半导体基板的上述主面(多个)中的另一个主面侧设在对应于上述第1光电变换部的位置上，具有带来第1光程的膜厚。绿色滤色器在上述半导体基板的上述主面(多个)中的另一个主面侧设在对应于上述第2光电变换部的位置上，具有带来比上述第1光程长的第2光程的膜厚。红色滤色器在上述半导体基板的上述主面(多个)中的另一个主面侧设在对应于上述第3光电变换部的位置上，具有带来比上述第2光程长的第3光程的膜厚。

平坦化膜形成在上述蓝色、绿色及红色的滤色器(多个)上，使上述滤色器(多个)的阶差平坦化。微透镜(多个)，在上述平坦化膜上分别设在对应于上述第1至第3光电变换部的位置上。

附图说明

图1是示意地表示实施方式的背面照射型固体摄像装置的剖视图。

图2是用来说明由滤色器发生的入射光的干涉的图。

图3是表示光入射到滤色器时的、其光程与相干性(coherency)的关系的图。

图4是表示带来滤色器的膜厚的整数m与相干性及该膜厚的关系的图。

具体实施方式

以下，参照附图对实施方式进行说明。在附图中，相同的标号表示相同或类似的部分。

图1是示意地表示该实施方式的固体摄像装置的剖视图。

如图1所示，固体摄像装置80是光入射到硅基板1的背面、即硅基板1的两个主面1a、1b之中与形成配线区域部的一个主面1a相反侧的主面1b上的背面照射型固体摄像装置。

固体摄像装置80是CMOS图像传感器，具有作为进行入射光的光电变换的像素的光电变换部(多个)2。由光电变换部(多个)2进行了光电变换后的信号通过信号处理部(未图示)进行信号处理。

固体摄像装置80在要求高画质化及多像素化的带有照相机的便携电话机、数字照相机、数字摄像机等中使用。上述入射光是相干长度为几μm左右的自然光(阳光)或相干长度为约3μm左右的荧光灯或电灯的光。

硅基板1面朝下(face down)地配置。具体而言，硅基板1的主面1a侧配置在图1的下方向，主面1b(背面)侧配置在图1的上方向。硅基板1的折射率处于例如3.5～5.2的范围中，比滤色器6a～6d及微透镜(多个)8的折射率大。在硅基板1的表面1a上，以二维状设有上述光电变换部(多个)2。