[发明专利]金刚线切片机

说明书

技术领域

本发明涉及一种多线切割技术，特别是涉及一种用于同时对多个晶体硅棒进行切割作业的金刚线切片机。

背景技术

多线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术，它的原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢线上的切割刃料对半导体等硬脆材料进行摩擦，从而达到切割目的。线切割技术与传统的刀锯片、砂轮片及内圆切割相比有具有效率高，产能高，精度高等优点。

现有的多线切割设备例如晶体硅棒切片机等通常至少包括有：机架，用于固定工件的工作台，用于收、放钢线的贮丝筒，多个用于为钢线进行导向的导线轮以及跨设在工作台相对两侧并可以升降作业的切割辊等，在对晶体硅棒的实际切割过程中，所述钢线通过十几个导线轮的引导，在工作台相对两侧的切割辊上形成一张线网，当工件被固定在所述工作台上时，将工作台相对两侧的切割辊降下来，并在压力泵在的作用下，装配在设备上的研磨剂自动喷洒装置将研磨剂喷洒至钢线和工件的切削部位，由钢线带动研磨剂往复告诉运动，利用研磨砂对工件产生切削，以将工件一次同时切割为许多片。由此可知，工作台相对两侧的切割辊的设置方式是关系到切割作业是否顺利、切割精度是否精准的一环尤其的重要。

在现有技术中的晶体硅棒切片机上，位于工作台相对两侧的切割辊被设置在机架的相对两侧立柱上，因而左、右切割辊之间的跨度很大，所以位于两侧切割辊之间的钢线走线距离也很长，在实际的切片作业中，当将工作台相对两侧的切割辊降下来，两侧的切割辊之间的钢线压迫到工件时，会使钢线形成很大的绕曲度，因而钢线也就始终受到最大的运行阻力，由于工件本身往往具有很高的硬度而不易切割，再加上针对工件切片精准度的要求又很严格，所以上述因切割辊的设置方式而致使钢线绕曲度过大很容易影响切割精准度；而且，上述的晶体硅棒切片机由于切割区间单一，所以一次能够切割晶体硅棒的数量也很少，效率很低。

所以，如何提供一种应用在切片机上的切割技术，以避免以上所述的缺点，实为相关领域之业者目前亟待解决的问题。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种金刚线切片机，以解决现有技术中因切割辊的设置方式而致使钢线跨度大，进而造成切割时钢线绕曲度过大，容易造成切割不良的问题。

本发明的再一目的在于提供一种金刚线切片机，可以同时对多个晶体硅棒进行切割作业，以提高设备的运行效率。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种金刚线切片机，用于同时对多个晶体硅棒进行切割作业，其特征在于，所述金刚线切片机至少包括：机架，第一切割辊，第二切割辊，第三切割辊，第四切割辊，以及金刚线。其中，所述机架具有一工件切割区；所述第一切割辊设置在所述工件切割区的一侧；所述第二切割辊设置在所述工件切割区的另一侧，与所述第一切割辊相对平行且位于同一水平面上；所述第三切割辊设置在所述第一切割辊与第二切割辊之间，位于所述第一切割辊与第二切割辊同一水平面的上侧，且所述第三切割辊至第一切割辊的间距小于第三切割辊至第二切割辊的间距；所述第四切割辊设置在所述第一切割辊与第二切割辊之间，与所述第三切割辊相对平行且位于同一水平面上，所述第四切割辊至第三切割辊的间距等于所述第三切割辊至第一切割辊的间距，以及所述第四切割辊至第三切割辊的间距等于所述第四切割辊至第二切割辊的间距；所述金刚线依次缠绕于所述第一切割辊、第三切割辊、第四切割辊与第二切割辊上，并在所述第一切割辊与第三切割辊之间，在所述第三切割辊与第四切割辊之间，以及在所述第四切割辊与第二切割辊之间分别形成三段等长的切割线，在所述金刚线高速运行时，由该三段切割线同时对三个晶体硅棒进行切割作业。

本发明之金刚线切片机中，所述第三切割辊与第一切割辊之间的金刚线与所述第一切割辊与第二切割辊之间的金刚线所成的夹角等于所述第四切割辊与第二切割辊之间的金刚线与所述第一切割辊与第二切割辊之间的金刚线所成的夹角。具体的，所述的夹角为10°至30°之间的夹角。

本发明之金刚线切片机还包括多个送件治具，分别设置在所述机架上，用于运送所述晶体硅棒压迫所述第一切割辊与第三切割辊之间、所述第三切割辊与第四切割辊之间、以及所述第四切割辊与第二切割辊之间的三段切割线以对三个晶体硅棒同时进行切割。