[发明专利]传输模块压力平衡设备

权利要求书

1.一种用于半导体制造的传输模块压力平衡设备，包括依次连通的气动阀、调压阀和单向阀，其中所述气动阀与大气相通，所述气动阀与所述调压阀连接，所述调压阀与所述单向阀连接，所述单向阀通过承载室上的备用接口与所述承载室连接。

2.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述气动阀用于控制大气流过所述传输模块压力平衡设备。

3.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述调压阀用于控制所流过的大气流量。

4.如权利要求1所述的设备，其特征在于，流过所述调压阀的大气量占流过所述气动阀的全部大气量的百分比大于等于0％且小于等于100％。

5.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述单向阀对流过的其内部的气体进行过滤。

6.如权利要求4所述的设备，其特征在于，流过所述调压阀的大气量占流过所述气动阀的全部大气量的百分比根据承载室内的气压和外界气压的实际气压差的增加而增加。

7.如权利要求4所述的设备，其特征在于，流过所述调压阀的大气量占流过所述气动阀的全部大气量的百分比根据承载室内的气压和外界气压的实际气压差的减少而减少。

8.如权利要求4所述的设备，其特征在于，流过所述调压阀的大气量占流过所述气动阀的全部大气量的百分比根据所述传输模块压力平衡设备中的连接管道的横截面面积的增加而减少。

9.如权利要求4所述的设备，其特征在于，流过所述调压阀的大气量占流过所述气动阀的全部大气量的百分比根据所述传输模块压力平衡设备中的连接管道的横截面面积的减少而增加。