[发明专利]区分P/N型硅料的显色溶液和区分方法有效
申请号: | 201010288247.X | 申请日: | 2010-09-20 |
公开(公告)号: | CN102004101A | 公开(公告)日: | 2011-04-06 |
发明(设计)人: | 刘彬国;何京辉;曹祥瑞;刘彬;赵萌萌 | 申请(专利权)人: | 邢台晶龙电子材料有限公司 |
主分类号: | G01N21/78 | 分类号: | G01N21/78 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 夏素霞 |
地址: | 054001 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 区分 型硅料 显色 溶液 方法 | ||
1.一种区分P/N型硅料的显色溶液,其特征在于,该显色溶液的体积配比为:硝酸∶氢氟酸=1∶80~120;其中氢氟酸的质量分数为40~45%、硝酸质量分数65~68%。
2.根据权利要求1所述的区分P/N型硅料的显色溶液,其特征在于,该显色溶液的体积配比为:硝酸∶氢氟酸=1∶100。
3.一种区分P/N型硅料的方法,其采用权利要求1或2所述的显色溶液,其特征在于,该方法步骤为:(1)配置显色溶液:将硝酸和氢氟酸按照配比存放在耐腐蚀箱中,充分搅匀;
(2)酸洗:将要区分的P、N型混合的硅料完全浸泡在耐腐蚀箱中的显色溶液内,浸泡15~20分钟后;
(3)将硅料取出,冲洗,烘干;根据硅料表面显现的颜色区分P型硅料和N型硅料;其中N型硅料呈明亮色、P型硅料呈暗灰色。
4.根据权利要求1所述的区分P/N型硅料的方法,其特征在于,所述步骤(2)中:硅料的浸泡量以达到显色溶液的2/3处为宜。
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