[发明专利]基于介质阻挡放电技术的平板全密封低温等离子体激发源无效
| 申请号： | 201010288991.X | 申请日： | 2010-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN101945527A | 公开（公告）日： | 2011-01-12 |
| 发明（设计）人： | 武中臣;张鹏彦;陶琳 | 申请（专利权）人： | 武中臣 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 威海科星专利事务所 37202 | 代理人： | 于涛 |
| 地址： | 264200 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 介质 阻挡 放电 技术 平板 密封 低温 等离子体 激发 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于介质阻挡放电技术的平板全密封低温等离子体激发源，其特征在于由两片陶瓷片平行粘合在一起形成一个中空放电室，组成中空放电室外侧的陶瓷片上分别粘贴有锡箔纸作为放电电极，粘合的两片陶瓷片的周边分别设有石英窗片、进气口和排气口。
2.根据权利要求1所述的一种基于介质阻挡放电技术的平板全密封低温等离子体激发源，其特征在于使用陶瓷片粘合形成的中空放电室呈长方体形，石英窗片粘贴在陶瓷板的前端短边上，进气口设在与石英窗片相对的后端短边上，排气口设在和前端激发端邻近的外侧陶瓷板的长边上。
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