[发明专利]一种用于涂胶显影机的温湿度控制器及涂胶显影机有效

专利信息
申请号: 201010289442.4 申请日: 2010-09-21
公开(公告)号: CN102411386A 公开(公告)日: 2012-04-11
发明(设计)人: 刘刚;程光中;刘涛;储著飞 申请(专利权)人: 和舰科技(苏州)有限公司
主分类号: G05D27/00 分类号: G05D27/00;G03F7/16;G03F7/26
代理公司: 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 代理人: 王光辉
地址: 215025 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 涂胶 显影 温湿度 控制器
【说明书】:

技术领域

发明涉及涂胶显影机,特别是涉及一种用于涂胶显影机的温湿度控制器及使用该温湿度控制器的涂胶显影机。

背景技术

在现有技术中,涂胶显影机台(Track机台)中的温湿度控制器(Temperature humidity cotroller)包括多个制冷片组,如图1、图2、图3所示为其中的1个制冷片组,它由4个制冷片1串联形成,制冷片的冷热面分别涂散热膏夹于水冷却散热铝板2和储冷铝板箱外壁3之间,水冷却散热铝板和储冷铝板箱外壁两者通过螺丝固定而成。温湿度控制器可以共串联6组制冷片组。通过施加给制冷片的电流变化,实现对流经储冷铝板箱内部、进入主机台“上光阻单元”的空气温/湿度进行高精度控制,避免光阻液内的化学成分因环境变化而固化不均,发生光阻层厚度异常。

但是,由于制冷片老化或修机时机台通断电时间间隔太短等原因,可能会造成处于制冷片内的部分PN结烧毁而使做为制冷片冷热面的绝缘陶瓷片少量碎裂,而且制冷片的冷热面所涂的散热膏没有机械强度,在外力压紧时会失去绝缘功能,因此,破坏了制冷片与铝板之间的绝缘,而所有水冷却散热铝板利用导线串联后与机台电力保护地线(GND)相接,从而造成机台电力跳电,届时机台内的产品必须全部重做。而机台内“上光阻单元”温/湿度传感器,制冷片组的水冷却散热铝板上温度传感器4等侦测元件,都因机台断电而无法发挥应有的作用,这不符合机台设计者初衷。

发明内容

针对现有技术中存在的缺陷和不足,本发明的目的是提出一种温湿度控制器,使制冷片内的PN结烧毁时也能保证制冷片与水冷却散热铝板、储冷铝板箱外壁之间的绝对绝缘,从而避免因某个制冷片的损坏使整个机台电力跳电。

为了达到上述目的,本发明提出一种用于涂胶显影机的温湿度控制器,包括由多个制冷片串联形成的制冷片组,所述制冷片位于所述涂胶显影机的水冷却散热铝板和储冷铝板箱外壁之间,每个制冷片与所述水冷却散热铝板、所述储冷铝板箱外壁之间具有导热绝缘垫片。

作为上述技术方案的优选,所述绝缘散热垫片具有至少将所述制冷片完全覆盖的面积。

作为上述技术方案的优选,所述绝缘散热垫片具有高导热系数。

作为上述技术方案的优选,所述绝缘散热垫片是低热阻的绝缘散热垫片。

作为上述技术方案的优选,使用带有绝缘套管的可拆拔的公母接头串联所述多个制冷片。

一种涂胶显影机,包括温湿度控制器,所述温湿度控制器包括由多个制冷片串联形成的制冷片组,所述制冷片位于所述涂胶显影机的水冷却散热铝板和储冷铝板箱外壁之间,每个制冷片与所述水冷却散热铝板、所述储冷铝板箱外壁之间具有导热绝缘垫片。

作为上述技术方案的优选,所述绝缘散热垫片具有至少将所述制冷片完全覆盖的面积。

作为上述技术方案的优选,所述绝缘散热垫片具有高导热系数。

作为上述技术方案的优选,所述绝缘散热垫片是低热阻的绝缘散热垫片。

作为上述技术方案的优选,使用带有绝缘套管的可拆拔的公母接头串联所述多个制冷片。

本发明提出的温湿度控制器以及使用该温湿度控制器的涂胶显影机利用导热绝缘垫片替代没有机械强度的当外力压紧时会失去绝缘功能的散热膏,可实现制冷片与水冷却散热铝板、储冷铝板箱外壁之间的绝对绝缘,避免因某个制冷片的损坏使整个机台电力跳电,使机台内的产品免于全部重做,同时还可使更换制冷片的整个过程的干净和快速。

下面结合附图,对本发明的具体实施方式作进一步的详细说明。对于所属技术领域的技术人员而言,从对本发明的详细说明中,本发明的上述和其他目的、特征和优点将显而易见。

附图说明

图1为现有技术温湿度控制器中制冷片组的立体示意图;

图2为图1制冷片组的俯视图;

图3为图1制冷片组的仰视图;

图4为本发明提出的温湿度控制器中制冷片组的立体示意图;

图5为图4制冷片组的俯视图;

图6为图4制冷片组的仰视图;

具体实施方式

如图1、图2、图3所示,本发明提出的一种用于涂胶显影机的温湿度控制器,包括由多个制冷片1串联形成的制冷片组,所述制冷片位于所述涂胶显影机的水冷却散热铝板2和储冷铝板箱外壁3之间,每个制冷片与水冷却散热铝板2、储冷铝板箱外壁3之间具有导热绝缘垫片5。

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