[发明专利]摩擦配向机的除静电装置以及除静电方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种摩擦配向机的除静电装置以及除静电方法，特别涉及一种能够去除在摩擦配向机的摩擦配向过程中产生的静电的除静电装置以及除静电方法。

背景技术

液晶显示装置(Liquid Crystal Display：LCD)耗电少、重量轻且厚度薄，因此应用于很多领域。将分别使用薄膜晶体管(Thin Film Transistor：TFT)和薄膜二极管(Thin Film Diode：TFD)作为显示像素的开关元件的液晶显示装置，分别称为薄膜晶体管液晶显示装置(TFT-LCD)和薄膜二极管液晶显示装置(TFD-LCD)。目前，这种薄膜晶体管液晶显示装置以及薄膜二极管液晶显示装置作为电视机、台式计算机或笔记本计算机的显示器以及手机等便携式终端的显示装置而广泛使用。

作为液晶显示装置的一例，说明TFT-LCD的单元(Cell)制造工序。

液晶显示装置用基板形成例如550×650mm²大小的四边形，大致在基板上形成有多个例如2～6面的相同的面板图案。在TFT-LCD的情况下，在像素部分形成有至少一个具有数微米大小的晶体管。

通常，清洗形成有液晶显示元件图案的上部基板和下部基板，并在该两基板的表面上通过印刷形成例如聚酰亚胺材质的配向膜。在刚形成配向膜的基板上产生大量的静电。

另外，对印刷有配向膜的基板进行加热塑性化而使溶剂从配向膜蒸发，从而使配向膜聚合或固化。在这种状态下的配向膜上液晶分子不向一个方向排列，因此，进行将配向膜的表面向一个方向揉磨的摩擦配向处理。即，通过旋转附着有布的圆柱形的辊子，将形成有晶体管等的基板上的配向膜向一个方向揉磨。在大部分情况下，由于摩擦配向机利用丝绒布揉摩配向膜，因此存在产生较多静电的问题。

将基板从作业台分离时，摩擦配向工序中所产生的静电引发放电而损伤形成在基板上的电极以及配向膜，严重时会损坏基板。另外，静电也会给周边设备也带来不利的影响，因此需要去除在摩擦配向工序中产生的静电。

为了去除这种在摩擦配向工序中产生的静电，以往设置静电消除器(Photo Ionizer)来预防放电并去除一部分静电。但是，静电消除装备价格高且利用放射性物质，因此存在对人体有害的问题。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而做出的，其目的在于提供一种即使不使用高价的离子风机也能够去除静电的摩擦配向机的除静电装置以及除静电方法。

另外，本发明提供一种既不妨碍摩擦配向工序、也不损伤基板地能够去除静电的摩擦配向机的除静电装置以及除静电方法。

本发明的其他目的通过下面叙述的优选实施例变得更加明确。

根据本发明的一实施方式的摩擦配向机的除静电装置，通过使导电性的接触部件与执行摩擦配向工序的基板上表面接触而去除静电。摩擦配向工序中产生于基板上的静电通过导电性接触部件流向基板的外部而消失。

如上所述地，根据本发明的摩擦配向机的除静电装置，使导电性的接触部件与执行摩擦配向工序的基板的上表面中的任意点(除了图案印刷部件之外)接触，能够去除静电，因此不仅结构简单，而且具有不使用高价且对人体有害的静电消除器的优点。另外，根据本发明的摩擦配向机的除静电装置使导电性的接触部件与基板的上表面接触，因此使用简单且具有提高摩擦配向工序效率的优点。

根据本发明的除静电装置可以具备一个或一个以上的如下实施例。例如，接触部件可以与基板接触或分离。接触部件与基板接触的情况相当于摩擦配向工序在进行的情况，接触部件不与基板接触的情况相当于摩擦配向工序结束或者用于不妨碍辊子移动的情况。与此同时，接触部件不是始终与基板接触而是可以选择性地接触或分离，因此，在将基板加载到工作台或者辊子移动时，不会使接触部件成为妨碍。

接触部件可以与导电性的旋转臂结合且旋转臂可以与旋转部结合。另外，旋转部通过旋转旋转臂而使接触部件位于基板上。如上所述，接触部件通过旋转部的旋转可以与基板的上表面接触或分离。另外，导电性旋转臂与接触部件一起提供可以使静电向外部流出的通路。

另外，由于旋转臂具有弹性，因此在接触部件施压于基板的上表面时，防止接触部件损伤基板。尤其是，旋转臂以及接触部件可以由像导电性MC尼龙这样的导电性塑料形成。导电性塑料的旋转臂具有一定的弹性，防止与基板接触时基板受到损伤，从而能够防止产生电弧。

旋转臂可以与升降部结合。升降部使旋转部以及旋转臂向上下移动，从而使旋转臂以及接触部件能够位于工作台的侧面。即，升降部使旋转臂可以位于高于基板上表面的位置或者位于低于基板上表面的位置。