[发明专利]真空系统氦气恒压控制装置及恒压控制方法

权利要求书

1.真空系统氦气恒压控制装置，其特征在于，该装置由信号探测部件（1）、脉宽调制信号部件（2）、功率调节部件（3）、氦气源（4）和真空系统（5）组成；信号探测部件（1）由真空规电源（11）、真空规（12）和电流电压转换电路（13）组成，脉宽调制信号部件（2）由信号放大电路（21）、电压设定电路（22）、减法电路（23）、比例积分微分电路（24）、锯齿波发生电路（25）和电压比较电路（26）组成，功率调节部件（3）由过零触发器（31）和双向可控硅（32）组成，氦气源（4）由氦瓶（41）、减压阀（42）和氦漏（43）组成；真空规（12）安装在真空系统（5）上，真空规（12）电源接口与真空规电源（11）连接，真空规（12）信号接口与电流电压转换电路（13）输入端连接，电流电压转换电路（13）输出端与信号放大电路（21）输入端连接，信号放大电路（21）输出端和减法电路（23）负输入端连接，减法电路（23）正输入端连接到电压设定电路（22），减法电路（23）输出端与比例积分微分电路（24）输入端连接，比例积分微分电路（24）输出端与电压比较电路（26）负输入端连接，电压比较电路（26）正输入端与锯齿波发生电路（25）连接，电压比较电路（26）输出端与过零触发器（31）输入端连接，过零触发器（31）输出端与双向可控硅（32）的控制端连接，双向可控硅（32）电流输入端连接到电源，双向可控硅（32）电流输出端与氦漏（43）加热丝的一端连接，氦漏（43）加热丝的另一端与电源连接，氦漏（43）进气口与减压阀（42）出气口连通，减压阀（42）进气口与氦瓶（41）出气口连通，氦漏（43）出气口与真空系统（5）连通。

2.根据权利要求1所述的真空系统氦气恒压控制装置的恒压控制方法，其特征在于，该方法包含下列步骤：

a、接通真空系统氦气恒压控制装置的所有电源，将电压设定电路（13）的电压设定为V_j，0伏≤V_j≤5伏，i=1,2,3，…，N，j=1,2,3，…，N；

b、当i≠j时，V_i≠V_j，1≤i，j≤N；

c、用真空计监测真空系统的压强，直至真空计显示读数稳定；

d、真空计的读数即是电压设定电路（13）的电压设定为V_j时所对应的真空系统氦气压强P_j；

e、当j取遍1~N时，就得到N组电压设定电路（13）电压与真空系统氦气压强的对应关系（V_j，P_j），j=1,2,3，…，N；

f、当真空系统氦气压强需为P_j时，只要将电压设定电路（13）的电压设定为V_j，真空系统氦气恒压控制装置运行后，真空系统氦气的压强即可稳定在P_j。