[发明专利]集成磁弹性传感器

权利要求书

1.一种集成磁弹性传感器，包括：玻璃衬底、磁场激励偏置线圈、信号接受线圈、传感器支撑、磁性带材和绝缘材料层，其特征在于：磁场激励偏置线圈位于玻璃衬底上，信号接受线圈位于磁场激励偏置线圈的上方，传感器支撑位于信号接受线圈上方，绝缘材料层分别位于磁场激励偏置线圈、信号接受线圈和传感器支撑之间，磁性带材的两端固定在传感器支撑上。

2.根据权利要求1所述的集成磁弹性传感器，其特征是，所述的磁场激励偏置线圈包括：两个串联的具有相同缠绕方向顺时针或逆时针平面方形螺旋线圈。

3.根据权利要求1所述的集成磁弹性传感器，其特征是，所述的信号接受线圈包含两个串联的具有相反缠绕方向的平面方形螺旋线圈。

4.根据权利要求1或2或3所述的集成磁弹性传感器，其特征是，所述的磁场激励偏置线圈和信号接受线圈的两子平面线圈的中心轴线一致。

5.根据权利要求4所述的集成磁弹性传感器，其特征是，所述的磁场激励偏置线圈和信号接受线圈中心部分通过线圈下方的引线柱和引线连接在一起。

6.根据权利要求4所述的集成磁弹性传感器，其特征是，所述的磁场激励偏置线圈为5匝，线宽为200-400μm，线间距为100-200μm，厚度为10-30μm，信号接受线圈的匝数为7匝，线宽为50-200μm，间距为50-200μm，厚度为5-15μm。

7.根据权利要求1所述的集成磁弹性传感器，其特征是，所述的传感器支撑及磁性带材位于在信号接受线圈中的一个子线圈的上方。

8.根据权利要求1或7所述的集成磁弹性传感器，其特征是，所述的磁性带材包含多个磁性带材传感器组合，各传感器为长条形状，相互平行，传感器中间部分通过与长条固定在支撑结构两端。

9.根据权利要求1或2或3所述的集成磁弹性传感器，其特征是，所述的磁场激励偏置线圈输出的激发偏置信号为直流稳恒信号和正弦脉冲/方波脉冲信号的叠加。

10.根据权利要求1所述的集成磁弹性传感器，其特征是，所述的绝缘材料层为聚酰亚胺或氧化铝。