[发明专利]致动器、定位系统以及光刻设备

权利要求书

1.一种致动器，配置用以施加力和扭矩到物体上，所述致动器包括：

第一部分和第二部分，所述第一部分相对于所述第二部分在至少第一自由度上是可移动的，其中所述物体安装到所述第一部分，和其中所述第一和第二部分中的一个设置有第一电线圈，所述第一电线圈布置成与另一部分的可磁化部协同工作；

控制器，布置用以产生通过所述第一电线圈的第一电流，以在所述第一部分和第二部分之间产生力，

其中所述一个部分设置有第二电线圈，所述第二电线圈布置用以与另一部分的可磁化部协同工作，其中所述控制器还布置用以产生通过所述第二线圈的第二电流，以在所述第一部分和第二部分之间施加力和扭矩，使得所述致动器布置成相对于所述第二部分施加力和扭矩到所述物体上。

2.如权利要求1所述的致动器，其中，所述第一部分的可磁化部和/或所述第二部分的可磁化部是高导磁材料。

3.如权利要求1所述的致动器，其中，所述第一和第二部分中的一个设置有第三电线圈，其中所述第三电线圈基本上分成两半，即第一线圈构件和第二线圈构件，使得所述线圈构件是不电连接的，并且其中第一线圈构件与第一线圈串联连接，而第二线圈构件与第二线圈串联连接。

4.如权利要求3所述的致动器，其中，所述第一电线圈、第二电线圈以及第三电线圈具有基本上平行于第一自由度的方向，并且其中所述第三电线圈构造并布置成在第三自由度上相对于第一和第二电线圈具有偏移。

5.如权利要求1所述的致动器，其中，第一、第二以及第三电线圈中的至少一个围绕至少部分地由可磁化材料构成的多个腿部中的至少一个构造并布置，并且其中所述腿部中的至少一个安装到所述第一和第二部分中的一个。

6.如权利要求1所述的致动器，其中，所述第一和第二部分中的一个设置有全部电线圈。

7.如权利要求1所述的致动器，其中，所述第一线圈包括多个绕组(n)，其中所述第一线圈构造并布置用以在第一自由度上产生相对大的力，其中第二线圈包括少于n的多个绕组，并且其中第二线圈构造并布置用以沿基本上垂直于第一自由度取向的方向上产生相对小的扭矩。

8.一种定位设备，配置用以在至少第一自由度上相对于第二物体定位物体，其中所述定位设备包括定位系统，所述定位系统包括至少一个如权利要求1所述的致动器，以便沿至少第一自由度移动所述物体。

9.如权利要求8所述的定位设备，其中，所述致动器是第一类型的致动器，并且其中所述定位设备包括配置用以在至少第一自由度上移动所述物体的至少一个第二类型的致动器，其中所述第一类型的致动器具有相对高的效率和低的精确度，而所述第二类型的致动器具有相对低的效率和高的精确度。

10.一种光刻设备，包括：

如权利要求8所述的定位设备，其中所述定位设备包括长行程模块和短行程模块；

照射系统，配置用以调节辐射束；

图案形成装置支撑结构，构造成用以支撑图案形成装置，所述图案形成装置能够将图案在辐射束的横截面上赋予辐射束以便形成图案化的辐射束；

衬底台，构造用以保持衬底；

投影系统，配置用以将图案化的辐射束投影到衬底的目标部分上；

其中所述长行程模块的可移动部分安装到所述第一部分，并且所述短行程模块的可移动部分安装到所述第二部分。