[发明专利]喷墨单元的制造方法

权利要求书

1.一种喷墨单元的制造方法，适用于一喷墨头多层结构，至少包含下列步骤：

(a)提供一喷孔层，其具有一喷嘴孔；

(b)将一中间流道层以及一连通层依序设置于该喷孔层之上，以形成一入液流道、一储液室以及一出液流道；

(c)将一压力腔层设置于该连通层之上，以形成一压力腔体；

(d)将一致动层设置于该压力腔层之上；

(e)于该喷孔层、该中间流道层、该连通层、该压力腔层以及该致动层的相邻层间设置至少一干膜层；

(f)对该喷孔层、该中间流道层、该连通层、该压力腔层、该致动层及该干膜层进行一热压制程，以形成一喷墨单元。

2.如权利要求1所述的喷墨单元的制造方法，其中该入液流道与该储液室及该压力腔体相连通。

3.如权利要求1所述的喷墨单元的制造方法，其中该出液流道分别与该压力腔体及该喷嘴孔相连通。

4.如权利要求1所述的喷墨单元的制造方法，其中该中间流道层由多层板件堆栈而成，该连通层由至少一板件堆栈而成。

5.如权利要求4所述的喷墨单元的制造方法，其中该出液流道由多层板件堆栈而成，且该出液流道的截面积由该压力腔体朝该喷嘴孔方向渐缩。

6.如权利要求5所述的喷墨单元的制造方法，其中该出液流道由每相邻层板件依渐缩方向的原则构成，亦即一相邻层板件的出液流道截面积大于下1个渐缩方向相邻层板件的出液流道截面积。

7.如权利要求1所述的喷墨单元的制造方法，其中该喷孔层以微电铸方式制造。

8.如权利要求1所述的喷墨单元的制造方法，其中该喷孔层的材质为聚亚酰胺，且该喷嘴孔以准分子雷射方式制作而成。

9.如权利要求1所述的喷墨单元的制造方法，其中该干膜层为压克力或是环氧树脂材质。