[发明专利]化学品供应系统及方法

权利要求书

1.一种化学品供应系统，其特征在于，包括：

一第一化学品来源，用以供应一第一化学品；

一第二化学品来源，用以供应一第二化学品；

一连续式混合装置，用以提供该第一化学品及该第二化学品连续地流入其中并且混合，及连续地产生一混合化学品；

一第一管路，耦接该第一化学品来源及该连续式混合装置，且具有用以调节该第一化学品的流量的一第一阀门；

一第二管路，耦接该第二化学品来源及该连续式混合装置，且具有用以调节该第二化学品的流量的一第二阀门；及

一第三管路，耦接该连续式混合装置及一使用端，用以将该混合化学品供应至该使用端。

2.根据权利要求1所述的化学品供应系统，其特征在于，还包括位于该第三管路中的一第三阀门，其用以调节该混合化学品的流量。

3.根据权利要求1所述的化学品供应系统，其特征在于，还包括一储存槽，用以储存该混合化学品，且经由该第三管路而分别耦接至该连续式混合装置及该使用端。

4.根据权利要求1、2或3所述的化学品供应系统，其特征在于，还包括一浓度传感器，连接至该连续式混合装置的一出口端，用以侦测该混合化学品的一化学品浓度。

5.根据权利要求4所述的化学品供应系统，其特征在于，还包括一控制器，电连接至该浓度传感器、该第一阀门、及该第二阀门，用以接收该浓度传感器所测得的该化学品浓度，及根据该化学品浓度调整该第一阀门和/或该第二阀门的开度。

6.根据权利要求5所述的化学品供应系统，其特征在于，其中该控制器是一比例积分微分控制器。

7.根据权利要求3所述的化学品供应系统，其特征在于，该储存槽包括一循环管路，用以使该混合化学品在该储存槽及该循环管路中循环流动。

8.一种化学品供应方法，其特征在于，包括：

将一第一化学品及一第二化学品分别以一第一流量及一第二流量供应至一混合装置；

使该第一化学品及该第二化学品连续地通过该混合装置，同时在该混合装置中混合，以连续地产生一混合化学品；及

将该混合化学品供应至一使用端。

9.根据权利要求8所述的化学品供应方法，其特征在于，包括：

侦测该混合化学品的一化学品浓度。

10.根据权利要求9所述的化学品供应方法，其特征在于，包括：

根据该化学品浓度，调整该第一流量和/或该第二流量。

11.根据权利要求8所述的化学品供应方法，其特征在于，其中将该混合化学品供应至该使用端还包括：

先将该混合化学品供应至一储存槽，再从该储存槽将该混合化学品供应至该使用端。

12.根据权利要求11所述的化学品供应方法，其特征在于，其中将该混合化学品供应至该使用端还包括：

使该混合化学品在该储存槽及一循环管路中循环流动。