[发明专利]检查系统以及检查方法

权利要求书

1.一种检查系统，其对设定在工件表面的检查对象面内的异常凹凸进行检查，其特征在于，包括：

对单位条纹周期性连续的条纹图案进行显示的显示部，所述单位条纹由呈一定宽度的直线状的明部以及暗部构成；

对映入所述检查对象面的所述条纹图案进行拍摄的拍摄单元；

保持单元，其保持所述显示部，使得所述单位条纹的延伸方向与所述检查对象面大致平行，并且保持所述拍摄单元使得拍摄光轴相对于检查对象面倾斜；

驱动所述保持单元或者工件，使它们的相对位置多次变化的相对位置设定部；

确定部，其在所述各相对位置的条纹图案映入图像中，从接近工件侧的端缘开始数起位于规定距离范围内的映入图像中确定一个或者连续的多个单位条纹映入图像；

相位变化部，其在所述各相对位置，使得从所述拍摄单元拍摄到的所述条纹图案在检查对象面上的映入位置每次错开1/n周期，其中n是2以上的整数；

图像处理部，其能够根据所述各相对位置处的各相位的单位条纹映入图像判断所述检查对象面内的异常凹凸并进行输出，

所述相对位置设定部利用在所述各相对位置被确定的单位条纹映入图像对各相对位置进行设定，使得所述检查对象面被覆盖。

2.如权利要求1所述的检查系统，其特征在于，所述相位变化部通过使得所述拍摄单元或者显示部的位置变化，从而使得所述条纹图案在检查对象面上的映入位置每次错开1/n周期，其中n是2以上的整数。

3.如权利要求1所述的检查系统，其特征在于，

所述显示部形成为，排列有多列LED等发光元件，对于每一列都设定所述发光元件的明暗，由此来显示所述条纹图案，

所述相位变化部通过使得所述发光元件的明暗按每一列周期性地随时间变化，从而使得所述条纹图案在检查对象面上的映入位置每次错开1/n周期，其中n是2以上的整数。

4.如权利要求1所述的检查系统，其特征在于，所述条纹图案的明部以及暗部的辉度在宽度方向上呈正弦波状地变化，

所述相位变化部使得正弦波条纹图案的映入位置各错开1/4周期变化为A相、B相、C相、D相四个相位。

5.如权利要求1所述的检查系统，其特征在于，所述检查对象面与拍摄单元的拍摄光轴所成的角度在10°以下。

6.如权利要求1所述的检查系统，其特征在于，所述检查对象面弯曲，以映入检查对象面的单位条纹的延伸方向与该弯曲面的非弯曲方向正交的状态配置所述显示部。

7.如权利要求1所述的检查系统，其特征在于，所述确定部确定以一定鲜明度以上显示的一个或者连续的多个单位条纹的映入图像。

8.一种检查方法，其是对设定在工件表面的检查对象面内的异常凹凸进行检查的方法，其特征在于，设置有：

显示部，该显示部对单位条纹周期性连续的条纹图案进行显示，所述单位条纹由呈一定宽度的直线状的明部以及暗部构成；

对映入所述检查对象面的所述条纹图案进行拍摄的拍摄单元；

保持单元，其保持所述显示部，使得所述单位条纹的延伸方向与所述检查对象面大致平行，并且保持所述拍摄单元，使得拍摄光轴相对于检查对象面倾斜；

在以上构成的基础上，实施以下步骤：在所述各相对位置的条纹图案映入图像中，从接近工件侧的端缘开始数起位于规定距离范围内的映入图像中确定一个或者连续的多个单位条纹映入图像的确定步骤；

在所述各相对位置，使得从所述拍摄单元拍摄到的所述条纹图案在检查对象面上的映入位置每次错开1/n周期的相位变化步骤，其中n是2以上的整数；

能够根据所述各相对位置的各相位的单位条纹映入图像判断所述检查对象面内的异常凹凸并进行输出的图像处理步骤，

在所述相对位置设定步骤中，利用在所述各相对位置被确定的单位条纹映入图像对各相对位置进行设定，以覆盖所述检查对象面。

9.如权利要求8所述的检查方法，其特征在于，在所述相位变化步骤中，通过使得所述拍摄单元或者显示部的位置变化，使得所述条纹图案在检查对象面上的映入位置每次错开1/n周期，其中n是2以上的整数。

10.如权利要求8所述的检查方法，其特征在于，

所述显示部形成为，排列有多列LED等发光元件，对于每一列都设定所述发光元件的明暗，由此来显示所述条纹图案，

在所述相位变化步骤，通过使得所述发光元件的明暗按每一列周期性地随时间变化，使得所述条纹图案在检查对象面上的映入位置每次错开1/n周期，其中n是2以上的整数。