[发明专利]管式扩散工艺中磷源的回收系统有效
| 申请号： | 201010294778.X | 申请日： | 2010-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN102097290A | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 潘景伟 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扩散 工艺 中磷源 回收 系统 | ||
1.一种管式扩散工艺中磷源的回收系统，其特征是：包括气源(1)、排液部分(2)、回收部分(3)和安全装置部分(4)，排液部分(2)和回收部分(3)由生产线上更换下来的源瓶(5)依次连接而成，排液部分(2)与回收部分(3)的源瓶(5)连接方向相反，气源(1)为高纯惰性气体，
排液部分(2)的源瓶(5)的连接方式为第一个源瓶(5)的出气管(51)连接气源(1)，最后一个源瓶(5)的进气管(52)与回收部分(3)的第一个源瓶(5)的进气管(52)连接，中间源瓶(5)的出气管(51)与前一个源瓶(5)的进气管(52)连通，中间源瓶(5)的进气管(52)与后一个源瓶(5)的出气管(51)连通；
回收部分(3)的源瓶(5)的连接方式为第一个源瓶(5)的进气管(52)连接排液部分(2)的源瓶(5)，最后一个源瓶(5)的出气管(51)与安全装置部分(4)连通，中间源瓶(5)的进气管(52)与前一个源瓶(5)的出气管(51)连通，中间源瓶(5)的出气管(52)与后一个源瓶(5)的进气管(52)连通。
2.根据权利要求1所述的管式扩散工艺中磷源的回收系统，其特征是：所述的安全装置部分(4)包括缓冲瓶(6)和尾气回收装置(7)，回收部分(3)最后一个源瓶(3)的出气管(51)与缓冲瓶(6)的进口连接，缓冲瓶(6)的出口连接收集挥发出来的POCl3的尾气回收装置(7)。
3.根据权利要求1或2所述的管式扩散工艺中磷源的回收系统，其特征是：回收部分(3)的源瓶(5)仅有一个，回收部分(3)的源瓶的连接方式为源瓶(5)的进气管(52)连接排液部分(2)的源瓶(5)，源瓶(5)的出气管(51)与安全装置部分(4)连通。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
