[发明专利]基于外差式激光干涉仪的纳米静态锁定定位方法

权利要求书

1.基于外差式激光干涉仪的纳米静态锁定定位方法，其特征在于该方法包括以下步骤：

步骤(1)双频激光器输出频差为10～30MHZ的正交线偏振光，入射光学镜组；双频激光器和光学镜组构成外差式激光干涉仪；

步骤(2)外差式激光干涉仪作为微位移监测单元，实时监测微动工作台偏移锁定位置所发生的位移，同时外差式激光干涉仪输出测量光；所述的微动工作台上设置有光学镜组中的第二平面镜；

步骤(3)双频激光器输出参考光经第一光电接收器后转化为第一电信号，第一电信号输入到鉴相电路的一个输入端；外差式激光干涉仪输出测量光经第二光电接收器后转化为第二电信号，第二电信号输入到鉴相电路的另一个输入端；

步骤(4)鉴相电路对第一电信号和第二电信号进行鉴相后输出与相位差相对应的模拟电压；

步骤(5)鉴相电路输出的模拟电压输送至微位移发生驱动电源的控制端，作为控制电压控制微位移发生驱动电源；

步骤(6)微位移发生驱动电源根据控制电压的大小，驱动微动工作台，使微动工作台产生相应的位移，实现微动工作台的静态锁定定位。

2.根据权利要求1所述的基于外差式激光干涉仪的纳米静态锁定定位方法，其特征在于：所述的光学镜组包括偏振分光棱镜、第一1/4波片、第二1/4波片、第一平面镜、第二平面镜、角锥棱镜、转角棱镜和光纤接收器。

3.根据权利要求1所述的基于外差式激光干涉仪的纳米静态锁定定位方法，其特征在于：所述的微动工作台是由双极性可伸缩压电陶瓷和柔性铰链组合构成的超精密位移驱动单元。

4.根据权利要求1所述的基于外差式激光干涉仪的纳米静态锁定定位方法，其特征在于：所述的双频激光器与第一光电接收器通过光纤连接。

5.根据权利要求1所述的基于外差式激光干涉仪的纳米静态锁定定位方法，其特征在于：所述的鉴相电路采用复杂可编程逻辑器件作为逻辑处理单元。

6.根据权利要求1所述的基于外差式激光干涉仪的纳米静态锁定定位方法，其特征在于：所述的微位移发生驱动电源包括偏置电路、取样电路、误差放大电路和充放电回路；偏置电路的输入端作为微位移发生驱动电源的控制端与鉴相电路输出连接，偏置电路的输出端与误差放大电路的一个输入端连接，取样电路的输出端与误差放大电路的另一个输入端连接；误差放大电路的输出端与充放电回路的输入端连接，充放电回路的输出端分别与取样电路的输入端、微动工作台中的双极性可伸缩压压电陶瓷连接。