[发明专利]用于化学气相沉积设备中的气体墙结构

权利要求书

1.一种用于化学气相沉积设备中的气体墙结构，其特征在于：所述气体墙 结构包括外管(2)和内管，内管设置在外管内腔中，且内管外壁和外管内壁之间 留有间隙，该间隙与设置在外管一侧上的一个进气口(1)连通，且沿气流运行方 向，该间隙逐渐减小，所述内管上沿轴向还分布复数个连通内管内腔和所述间 隙的气隙结构，其中，每一气隙结构包括沿周向均匀分布的两个以上进气缝隙 (4)、一环形延伸壁(7)和一环形导流壁(6)，所述延伸壁(7)和导流壁(6)沿进入 该气隙结构的气流运动方向依次分布在内管内腔中，所述延伸壁(7)一端固定在 内管内壁上，另一端盖过进气缝隙(4)，并与进气缝隙(4)、内管内壁共同构成 气流通道，所述导流壁(6)为设置在内管内壁上的环形倾斜面，该倾斜面自其靠 近进气缝隙(4)的一端起向内管中心处倾斜。

2.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积设备中的气体墙结构，其特征 在于：所述延伸壁(7)另一端位于进气缝隙(4)和导流壁(6)之间。

3.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积设备中的气体墙结构，其特征 在于：所述内管包括复数个内部单元管(3)，相邻两个内部单元管按照首尾相接 的方式依次排布，且每一内部单元管(3)首端部沿周向均匀设置二个以上进气缝 隙(4)，尾端部设置延伸壁(7)，且进气缝隙(4)与延伸壁之间的管体内壁上设置 导流壁(6)。

4.根据权利要求3所述的用于化学气相沉积设备中的气体墙结构，其特征 在于：所述每一内部单元管(3)的首端部设置内螺纹(5)，尾端部设置外螺纹(8)， 相邻两个内部单元管(3)的首端部与尾端部以所述内螺纹(5)和外螺纹(8)固定 组接。

5.根据权利要求1或3所述的用于化学气相沉积设备中的气体墙结构，其 特征在于：所述进气缝隙(4)为条状或带状。