[发明专利]清洗机上的喷淋装置

说明书

技术领域

本发明涉及到清洗机，尤其涉及到清洗机上的喷淋装置。

背景技术

清洗机通常在上料台的上方安装有喷淋装置，用于对上料台上的硅片等待清洗物件进行清洗，使硅片保持湿润，不要让硅片上的污垢凝结，便于接下来的清洗。目前的喷淋装置，喷射的辐射面较窄，不能将待清洗物件均匀全面地湿润。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种可将待清洗物件均匀全面地湿润的清洗机上的喷淋装置。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：清洗机上的喷淋装置，包括：喷淋管和机架，喷淋管上设置有若干个喷嘴，机架上设置有喷淋支架，喷淋支架上设置有平移气缸和一对相互平行的滑轨，所述的喷淋管通过滑动座活动设置在所述的一对滑轨上，平移气缸的活塞杆与滑动座相连。

所述喷淋管的两侧分别设置有一排喷嘴。

所述喷淋管两侧的喷嘴错位布置。

本发明的有益效果是：本发明非常实用，通过平移气缸的活塞杆带着喷啉管来回移动，从而将待清洗物件均匀全面地湿润。此外，错位布置的喷嘴使得喷洒更加均匀。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

图2是图1的俯视结构示意图。

图3是图1的左视结构示意图。

图1至图3中：1、机架，2、上料台，3、上料电机，4、喷淋支架，5、平移气缸，6、滑轨，7、喷淋管，8、喷嘴，9、滑动座，91、滑块，10、工装篮，11、机脚，12、接口。

具体实施方式

下面结合附图，详细描述本发明的具体实施方案。

如图1所示，本发明所述的清洗机上的喷淋装置，包括：喷淋管7和机架1，喷淋管7的两侧分别设置有一排喷嘴8，这两排喷嘴8呈错位布置——参见图2所示，机架1上设置有喷淋支架4，喷淋支架4上设置有平移气缸5和一对相互平行的滑轨6，所述的喷淋管7通过滑动座9活动设置在所述的一对滑轨6上，如图3所示，其具体设置方式为：滑动座9的底部两侧分别设置有与滑轨6相配合的滑块91，滑块91活动没置在滑轨6上，喷淋管7固定在滑动座9上；所述平移气缸5的活塞杆与滑动座9相连。

使用时，可将供水管接在喷淋管7的接口12上，通过上料电机3将装有硅片等待清洗的物件的工装篮10移至喷淋管7的下方，然后，喷淋管7在平移气缸5的推动下来回对工装篮10中的物件进行喷淋。