[发明专利]基板处理装置

权利要求书

1.一种基板处理装置，包括：

腔，其分区为引入基板一侧的调整区和进行基板处理工程的工程区；载体，其将引入的基板调整之后移送到上述工程区，并且在工程完毕后将基板移送到上述调整区；以及

护罩，其设置于上述腔内的所述调整区和所述工程区之间，从而阻挡所述工程区发生的污染物流入到所述调整区，并且随着所述载体的移送而被打开或被关闭。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，进一步包括：

载体驱动部，其给所述载体传达动力；

护罩驱动部，其给所述护罩传达动力；以及

控制部，其给所述载体驱动部以及所述护罩驱动部传送控制信号。

3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其中，所述控制信号包括移动所述载体的驱动信号，停止所述载体的停止信号，打开所述护罩的打开信号，以及关闭所述护罩的关闭信号中的一个。

4.根据权利要求3所述的基板处理装置，其中，如果所述载体位于与所述护罩相邻的领域，则所述控制部给所述载体驱动部传送停止信号，并且给所述护罩驱动部传送所述打开信号，而如果所述载体已通过所述护罩，则所述控制部给所述护罩驱动部传送所述关闭信号。

5.根据权利要求3所述的基板处理装置，其中，如果所述载体向所述护罩移动，所述控制部利用所述载体的移动速度和时间，算出所述护罩和所述载体之间的距离，并且在算出的距离中找到所述载体可以连续通过的地点，给所述护罩驱动部传送所述打开信号，而如果所述载体已通过，所述控制部给所述护罩驱动部传送关闭信号。

6.根据权利要求2所述的基板处理装置，进一步包括位置感知部，其设在所述腔内壁和所述载体之中的一个，并且当所述载体的位置相邻与所述护罩时，生成感知信号并传送给所述控制部。

7.根据权利要求1所述的基板处理装置，进一步包括隔壁，其设于所述护罩被设置的领域，并且其高度至少应该达到所述载体可移动的高度。

8.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，如果所述载体相邻于所述护罩，则所述护罩保持打开的状态，而在其他领域中，所述护罩保持关闭状态。