[发明专利]一种磁电阻效应开关晶体管无效
申请号: | 201010297310.6 | 申请日: | 2010-09-30 |
公开(公告)号: | CN102446976A | 公开(公告)日: | 2012-05-09 |
发明(设计)人: | 纵坚平 | 申请(专利权)人: | 纵坚平 |
主分类号: | H01L29/82 | 分类号: | H01L29/82 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100851 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 磁电 效应 开关 晶体管 | ||
1.一种钙钛类ABO3结构中的反铁磁分子(AFM)材料与钙钛类ABO3结构中的四方相铁电分子(FET)材料复合分子结构或其衍生物的AFF薄膜,与至少两个以上电极组成的具有磁电阻开关效应的AFF晶体管结构。
这种AFF晶体管的结构特征在于:
其中,这种AFF薄膜中的AFF陶瓷粉体或其衍生物,其中至少包括BaTiO3/NdMnO3(或BaNdTiMnO6)或其衍生物复合的AFF结构;
其中,组成AFF陶瓷粉体或其衍生物化学结构的元素,A位元素至少包括以下元素的两种:Na,K,Mg,Ca,Sr,Ba,Y,La,Ce,Pr,Nd,Sm,Eu,Gd,Tb,Dy,Ho,Er,Tm,Yb,Lu等;
其中,组成AFF陶瓷粉体或其衍生物化学结构的元素,B位元素至少包括以下元素的两种:Ti,V,Cr,Mn,Fe,Co,Ni,Cu等;
其中,这种BaTiO3/NdMnO3(或BaNdTiMnO6)或其衍生陶瓷结构,其中至少包括:AI3O2,SiO2,TiO2等组成的玻璃相结构,其含量为AFF结构元素含量的1.8-8%(摩尔分数);
其中,电极至少包括两个导电电极层1-1,1-2和在此之间的AFF薄膜层1-3组成的晶体二极管,如图1所示结构;
其中,将两个AFF晶体二极管串联,由电极层2-1,AFF薄膜层2-4,电极2-2,AFF薄膜层2-5,电极2-3组成一个晶体三极管,如图2所示结构;
其中,将两个由多个AFF晶体二极管组成的并联体进行串联,由端电极层(3-1,3-2,3-3),叠层结构的AFF薄膜层(3-4,3-5),内电极层(3-7,3-8),绝缘层3-6组成一个晶体三极管,如图3所示结构;
其中,将晶体二极管或晶体三极管与其他器件集成组合,并与光导开关串联,可以组成光电一体的高速组合开关;
这种AFF晶体管的物理特征在于:
如图4-a等效电路所示,AFF二极管有两个导通(磁电阻低阻态)状态,即1,-1态,以及一个断开(磁电阻高阻态)状态,即0态,这是由于在相同方向电场下,FET处于AFM左侧或右侧所导致的;
如图4-b,图4-c等效电路所示,两个AFF二极管串联组成的三极管,将偏压U1和U2分别置于点a和点c,或点b和点c间,可以通过改变旁置电路电压U1或U2,实现AFF三极管的磁电阻低阻态和高阻态控制。
如图4-d所示,AFF三极管等效电路标识为TS-AFF(Transistor AFF);
如图5所示,AFF晶体管结构的FET与AFM特征关系,如果设定FET=1,为AFM=0(高磁阻态),当FET=-1时,AFM=-1(低磁阻态);如果设定FET=-1,为AFM=0(高磁阻态),当FET=1时,AFM=1(低磁阻态);
在电场正向和反向作用下,AFF晶体二极管发生高,低磁电阻变化的开关效应,等效从“开”到“关”,或从“关”到“开”状态;
其中,在AFF晶体二极管处于“开”状态下,薄膜基态等效的电阻RON,包含绝缘体电阻和磁电阻RMR-ON,磁电阻RMR-ON很小;
其中,在AFF晶体二极管处于“关”状态下,薄膜断态等效的电阻ROFF,包含绝缘体电阻和磁电阻RMR-OFF,磁电阻RMR-OFF很大,并且漏电很小;
其中,基态电阻RON小于断态电阻ROFF
其中,薄膜厚度增加,等效电阻R增加,耐压强度增加;
其中,两个以上晶体二极管并联可以等效增加导通电流量;
这种AFF晶体管的制备特征在于:
至少包括:电极成膜,预固化,热压等工艺;
其中,选择使用熟化或未熟化的AFF薄膜层,该层至少包括AFF粉体或其衍生物,固化树脂等材料;
其中电极成膜,在AFF层上下两面涂敷或喷溅电极层的制作过程中,至少使用以下导电金属其中一种,银,铝,金,铜,镍,锌,钯粉体或其合金组合形式,粉体颗粒10-200nm;
其中,在AFF层与电极层涂敷涂敷或喷溅成膜制作过程中,至少使用以下流动助剂,包括,甘油,乙二醇,乙醇以及衍生物等材料;
其中,对电极薄膜层预固化,涂敷厚度1-3μm,如温度为80-200℃之间,时间2-8小时之间,没有开裂和卷曲;
其中热压,对完成预固化的AFF层/电极层进行热压处理,包括热等静压处理,如温度270-320℃,压力5-80帕(bar),时间2-4小时之间的范围。如果需要的话,也可以对多个AFF层和交错排布的电极层载体进行叠层热压;
其中,如果使用未熟化的AFF薄膜层,AFF晶体管熟化,如图3,晶体管3-1两个正/负电极3-2,经连接导线3-3,从保温箱体3-4的瓷孔3-5,分别连接到电源3-6,在电源提供的辅助电场下,如5-4000V范围的正向和反向变化,同时,通过温度流入口3-7和温度流出口3-8对保温箱体进行温度控制,如-30-+120℃范围变化的作用下,进行0.5-2小时的循环熟化。
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