[发明专利]固态成像装置及其制造方法、电子装置和透镜阵列有效

专利信息
申请号: 201010297713.0 申请日: 2010-09-21
公开(公告)号: CN102034842A 公开(公告)日: 2011-04-27
发明(设计)人: 荻野明子;大塚洋一 申请(专利权)人: 索尼公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146;H01L27/148;G02B3/00
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 彭久云
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 固态 成像 装置 及其 制造 方法 电子 透镜 阵列
【权利要求书】:

1.一种固态成像装置,包括:

多个光电转换单元,设置为排列在基板的成像面的第一方向和垂直于所述第一方向的第二方向的每一个上,且构造为在光接收表面接收入射光以产生信号电荷;

多个微透镜,在所述多个光电转换单元的每个光接收表面上方设置在所述第一方向和所述第二方向的每一个上,且构造为将所述入射光聚集到所述光接收表面上;以及

传输单元,为所述多个光电转换单元的排列在所述第二方向上的每列所述多个光电转换单元而提供,其中构造为在所述第二方向上传输所述光电转换单元产生的信号电荷的传输通道区域形成在所述成像面上;

其中所述多个微透镜设置为在所述第一方向和所述第二方向的每个上彼此相邻排列,且所述多个微透镜在所述成像面处的平面形状是包括由在所述第一方向上延伸的边和在所述第二方向上延伸的边划分的部分的形状,且;

并且其中所述多个微透镜形成为使得在所述成像面的相对于所述第一方向和所述第二方向倾斜的第三方向上排列的微透镜之间的凹槽的深度深于所述第一方向上排列的微透镜之间的凹槽的深度,并且所述第三方向上的透镜表面的曲率也高于所述第一方向上的透镜表面的曲率。

2.根据权利要求1所述的固态成像装置,其中所述多个微透镜形成为使得所述第二方向上排列的微透镜之间的凹槽的深度深于所述第一方向上排列的微透镜之间的凹槽的深度,并且所述第二方向上的透镜表面的曲率也形成为高于所述第一方向上的透镜表面的曲率。

3.根据权利要求1或2所述的固态成像装置,其中,对于所述多个微透镜,所述第一方向上排列的微透镜之间的凹槽的深度D1和在所述第三方向上相邻排列的微透镜之间的凹槽的深度D3具有关系D1∶D3=1∶3至1∶5。

4.根据权利要求3所述的固态成像装置,其中,对于所述多个微透镜,所述第一方向上排列的微透镜之间的凹槽的深度D1具有关系D1≤150nm。

5.一种固态成像装置,包括:

多个光电转换单元,设置为排列在基板的成像面的第一方向和垂直于所述第一方向的第二方向的每一个上,且构造为在光接收表面接收入射光以产生信号电荷;

微透镜,设置在所述多个光电转换单元的每个光接收表面上方,且构造为将所述入射光聚集到所述光接收表面上;以及

传输单元,为所述多个光电转换单元的在所述第二方向上排列的每列所述多个光电转换单元而提供,其中构造为在所述第二方向上传输该光电转换单元产生的信号电荷的传输通道区域形成在所述成像面上;

其中所述微透镜形成为使得所述入射光入射的所述透镜表面在所述第二方向上成为弯曲表面,且在所述第一方向上成为平坦表面。

6.一种固态成像装置,包括:

多个光电转换单元,设置为排列在基板的成像面的第一方向和垂直于所述第一方向的第二方向的每一个上,且构造为在光接收表面接收入射光以产生信号电荷;

多个微透镜,在所述多个光电转换单元的每个光接收表面上方设置所述第一方向和所述第二方向的每一个上,且构造为将所述入射光聚集到所述光接收表面上;以及

像素晶体管,提供在所述成像面的所述多个光电转换单元之间,且构造为读出且输出所述多个光电转换单元产生的信号电荷;

其中所述多个微透镜设置为在所述第一方向和所述第二方向的每一个上彼此相邻排列,且对于所述多个微透镜,在所述成像面处的平面形状是包括由在所述第一方向上延伸的边和在所述第二方向上延伸的边划分的部分的形状;

并且其中所述多个微透镜形成为使得在所述成像面处与排列有所述多个光电转换单元而没有在所述多个光电转换单元之间引入所述像素晶体管的部分相对应的微透镜之间的凹槽的深度深于其它部分的微透镜之间的凹槽的深度,并且在排列有所述多个光电转换单元而不在其间引入所述多个像素晶体管的部分侧的透镜表面的曲率高于其它部分的透镜表面的曲率。

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