[发明专利]电热驱动的面内双稳态射频微开关

权利要求书

1.一种电热驱动的面内双稳态射频微开关，包括：电热驱动机构、机械闭 锁机构和信号转换机构，其特征在于：电热驱动机构位于机械闭锁机构的正下方， 机械闭锁机构与信号转换机构相连接；

所述的电热驱动机构包括：主驱动器电极、电热主驱动器、副驱动器电极和 电热副驱动器，其中：主驱动器电极与电热主驱动器相连，副驱动器电极与电热 副驱动器相连，电热主驱动器和电热副驱动器的末端分别正对机械闭锁机构相对 设置并不相接触；

所述的信号转换机构包括：柔性杆、接触头和信号线，其中：柔性杆的一端 与机械闭锁机构相连，另一端与接触头相连，接触头与信号线相对设置且不相接 触；

所述的机械闭锁机构包括：两个固定锚、主悬臂梁、副悬臂梁、主闭锁触头 和副闭锁触头，其中：主悬臂梁的外端和副悬臂梁的外端分别与两个固定锚相连 接，主悬臂梁的内端和副悬臂梁的内端分别与主闭锁触头和副闭锁触头相连接， 主闭锁触头与信号转换机构相连，主闭锁触头与副闭锁触头相对设置且不相接 触；

所述的主闭锁触头与副闭锁触头的横截面为形状相同的弧形结构，其纵向最 短间隔为2～5微米，横向重叠距离为5～10微米，弧形部分的宽度从50微米渐变 为10微米。

2.根据权利要求1所述的电热驱动的面内双稳态射频微开关，其特征是，所 述的电热主驱动器和电热副驱动器均为多个单晶硅V型电热驱动器的阵列组合。

3.根据权利要求1所述的电热驱动的面内双稳态射频微开关，其特征是， 所述的主悬臂梁和副悬臂梁的外端均有一段S型弹簧，S型弹簧的宽度为50微 米。

4.根据权利要求1所述的电热驱动的面内双稳态射频微开关，其特征是， 所述的主悬臂梁和副悬臂梁的刚性悬臂梁部分宽度是渐变的，宽度从200微米渐 变为50微米。

5.根据权利要求1所述的电热驱动的面内双稳态射频微开关，其特征是， 所述的主悬臂梁和副悬臂梁的刚性悬臂梁部分在横向都存在一个倾角，这个倾角 为10～30度。

6.根据权利要求1所述的电热驱动的面内双稳态射频微开关，其特征是， 所述的柔性杆为具有弹簧结构的金属条，该柔性杆的宽度小于主悬臂梁以及副悬 臂梁的宽度，宽度为10～30微米。