[发明专利]一种实现高脉冲功率磁控放电方法

权利要求书

1.一种实现高脉冲功率磁控放电方法，其特征在于：通过调整横向磁场特性和非平衡磁场特性与磁控靶辉光放电的放电条件、瞬态特性相匹配，由电源的谐振特性与磁控靶的谐振特性相匹配，实现自触发和形成高脉冲功率磁控放电；磁控靶前设置空心阴极结构提高自触发等离子体的初始密度衡放电功率密度，实现高脉冲功率磁控放电；所述的放电条件包括气压、电源电压、电极形式、电场、磁场条件和放电气体成份；触发方式利用辉光放电的启辉过程与由磁控靶磁场特性和放电条件控制的放电瞬态特性相匹配；在磁控靶上设置空心阴极的电极结构、形式和参数匹配能够提高脉冲功率。

2.根据权利要求1所述的一种实现高脉冲功率磁控放电方法，其特征还在于：在放电空间中通过电极结构、形式和参数匹配。

3.根据权利要求1所述的一种实现高脉冲功率磁控放电方法，其特征还在于：触发方式利用其它外加触发辅助装置，包括脉冲电源、直流电源、外加的脉冲离子束源、电子束、激光束、微波源、脉冲电场或脉冲磁场。

4.根据权利要求1、2或3所述的一种实现高脉冲功率磁控放电方法，其特征还在于：通过控制交叉场中的磁场强度、磁场空间分布以及磁场特性和电源电压、放电气压和气体成分互相匹配来调整放电中的各种磁效应。

5.根据权利要求1、2或3所述的一种实现高脉冲功率磁控放电方法，其特征还在于：在电极表面形成平行电极表面的磁场；在构成磁效应的磁场中磁场感应强度应在0T-30T的范围之内。

6.根据权利要求1、2或3所述的一种实现高脉冲功率磁控放电方法，其特征还在于：包括应用该机制的磁约束核聚变装置、强流电子束、强流离子束、高功率磁控溅射和其它粒子束源，采用磁镜场约束电荷或等离子体的装置及其它放电装置。