[发明专利]开关结构和方法

权利要求书

1.一种装置，包括

触头(102)；以及

基本由构造成抑制取决于时间的变形的金属材料形成的导电元件(104)，所述导电元件构造成可在第一位置和第二位置之间变形，在所述第一位置上，所述导电元件与所述触头分开，而在所述第二位置上，所述导电元件接触所述触头。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述金属材料构造成在经受所述金属材料的屈服强度的至少约25％的应力和低于或等于所述金属材料的熔化温度的约一半的温度时展现小于10^-13s^-1的最大的稳态塑性应变率。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述导电元件包括选自悬臂、两端固定梁、扭转元件以及隔膜组成的组的结构。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述触头和所述导电元件是微机电装置或纳机电装置的一部分。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述金属材料具有至少700℃的熔化温度。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述金属材料构造成在高于40℃的温度下抑制取决于时间的变形。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括基底(108)，其中，所述触头和所述导电元件中的各个设置在所述基底上。

8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述金属材料包括至少镍和钨的合金。

9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括具有在不同电势处的第一侧(116)和第二侧(118)的电路(114)，其中，所述触头和导电元件分别连接到所述电路的所述第一侧和所述第二侧中的一个和另一个上，从而使得所述导电元件在所述第一位置和所述第二位置之间的变形起分别传递和中断通过其中的电流的作用。

10.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，所述第一侧包括构造成供应带有至少1mA的幅度和小于或等于约1kHz的振荡频率的电流的功率源(12)。

11.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，所述导电元件构造成在所述第一位置和所述第二位置之间变形，以在低于所述金属材料的熔化温度的30％的环境温度下分别传递和中断通过其中的电流。