[发明专利]振动片、振子、振荡器以及电子仪器

说明书

技术领域

本发明涉及例如由压电体材料所组成的压电振动片等的振动片、振子、振荡器和使用了这些元件的电子仪器。

背景技术

一直以来，压电元件被广泛应用于手机等通信仪器、电脑和IC卡等信息设备、以及其他各种电子仪器中。最近，伴随这些电子仪器的小型化以及高性能化，需要压电元件在小型化的同时具备有高品质和高稳定性。

众所周知，对于弯曲振动模式的压电振动片，为了实现小型化而将振动臂的长度缩短时，其频率将会增高。因此，通过使振动臂的前端部质量增大，从而能够在不会因该质量效果导致频率增高的同时而缩短振动臂的长度，进而使压电振动片小型化(例如，参照专利文献1、2)。很多情况下，使振动臂前端部质量增大是通过将该前端部的宽度形成得比基端一侧更大而实现的。

并且，在音叉型压电振动片中，为了降低CI值，广泛采用在振动臂的两个主面的至少一个上形成长度方向的槽部，并且在该槽部的内面上将激励电极成膜的结构(例如，参照专利文献2)。由于在这样的振动臂上，在其侧面的激励电极和槽部内的激励电极之间产生的电场，广泛地分布在振动臂的截面上，从而能够大幅度地提升电场效率，所以即使将振动片小型化，振动损失也较小，能够将CI值抑制在较低水平。

并且，公开有一种将振动臂的槽部延伸至进入振动臂前端的锤部以及基部的位置的音叉型压电振动片(例如，参照专利文献3)。具有这样的槽构造的振动臂，能够确保获得振动臂的基本振动模式所需的臂长，并且在振动臂的锤部以及基部的各个结合部上，消除因振动臂的振动而导致的向槽部的应力集中，从而能够得到稳定的振动。

并且，在专利文献3中，公开了一种为了降低CI值而在锤部的基部一侧设有脊部的振动臂。下面参照附图进行详细说明，在图6中，专利文献3所记载的音叉型压电振动片1具备：基部2；一对振动臂3，其从基部2的一端部分平行延伸。各个振动臂3具备：锤部5，其位于振动臂3的前端一侧，且其宽度比振动臂3的基部2一侧更宽；具有底部的第1槽部7，其沿振动臂3的长边方向而形成；第1激励电极9，其形成在第1槽部7的侧面上；第2激励电极10，其形成在振动臂3的侧面上。并且，在锤部5的基部2一侧，设置有作为贯通孔的第2槽部8，其将从振动臂3的侧面起连续并与之构成同一个面的侧面作为一侧侧面，且该一侧侧面被形成为与第1槽部7的侧面平行，通过该第2槽部8，在锤部5的基部2一侧的两端部上，形成有脊部(突出部)6。通过该脊部6，使得振动臂3能够在不改变锤部5的质量的条件下而使振动二阶矩的臂长变短，从而能够提高振动的稳定性，并且将CI值抑制在较低水平。

在先技术文献

专利文献1：日本实公昭51-10755号公报。

专利文献2：日本特开2004-282230号公报。

专利文献3：日本特开2005-5896号公报。

发明内容

发明所要解决的课题

但是，在专利文献3中所记载的音叉型水晶振动片1中，因为将锤部5的振动臂3侧面的延长线作为一侧侧面的第2槽部8为，贯通锤部5的两个主面的贯通孔，所以存在由于锤部5的基部2一侧的两端部上形成的脊部6分别成为锤而产生故障的危险。也就是说，发明人发现，在振动臂3按图中的箭头方向反复弯曲振动时，由于锤部5在振动臂3的振幅最大值处产生比振动臂3更大的位移而成为接近高阶模式的振动形态，从而有可能使频率上升而导致振动不稳定，进而使CI值上升。

用于解决课题的方法

本发明是为了解决上述至少一部分的课题而完成的，其可以通过以下的实施方式或者应用例来实现。

[应用例1]

本应用例涉及的振动片，其特征在于，具备：基部；振动臂，其从所述基部的一端部分起延伸，所述振动臂具备：臂部，其设置在所述基部一侧；锤部，其设置在比所述臂部更靠前端一侧，且宽度比所述臂部更宽；主面，其设置在所述振动臂的前后侧上；侧面，其被形成为，向所述振动臂的长度方向延伸并连接前后侧的所述主面，且相互对置；第1槽部，其为具有底部的槽，且沿所述振动臂的所述长度方向而被形成在至少一侧的所述主面上；第1激励电极，其被形成在连接所述第1槽部的底部与所述一侧的所述主面的槽侧面上；第2激励电极，其被形成在两个所述侧面上；槽内突出部，其被设置在，比在所述长度方向上平分所述振动臂的二等分线更靠所述前端一侧的位置上，且隔着所述第1槽部的一部分以沿所述槽侧面的方式形成。