[发明专利]一种太阳能电池片的制作方法有效
| 申请号： | 201010502146.8 | 申请日： | 2010-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN101982889A | 公开（公告）日： | 2011-03-02 |
| 发明（设计）人： | 李虎;张世杰;李秉霖;吴志强;武明;刘斌贤 | 申请（专利权）人： | 山东力诺太阳能电力股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 宋玉霞 |
| 地址： | 山东省济南市经十东路3076*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 制作方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种太阳能电池片的制作方法，包括制绒、清洗、扩散、边缘绝缘、去磷硅玻璃、镀减反射膜、丝网印刷、烧结等步骤，在镀减反射膜的过程中，采用管式PECVD镀膜的方法，以石墨舟作为硅片载体，其特征在于，所述石墨舟放置硅片的板面为平面，内部相对的石墨舟板面设有凸起。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池片的制作方法，其特征在于，所述的石墨舟板面上的凸起高度为1mm-10mm。
3.根据权利要求2所述的一种太阳能电池片的制作方法，其特征在于，单片硅片范围内的石墨舟板面上的凸起有高度差。
4.根据权利要求2所述的一种太阳能电池片的制作方法，其特征在于，所述的石墨舟板面上的凸起组成有规则的图形或者图案。
5.根据权利要求2所述的一种太阳能电池片的制作方法，其特征在于，所述的石墨舟板面上的凸起组成无规则的图形或者图案。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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