[发明专利]表面形状的检查方法及检查装置

权利要求书

1.一种表面形状的检查方法，向透明板状体照射条纹图案，拍摄由该透明板状体的表面形成的条纹图案的反射图像，基于通过拍摄得到的图像信号检查所述透明板状体的表面形状，其特征在于，包括：

条纹图案决定工序，决定具有明暗图案的条纹图案，所述明暗图案以由所述透明板状体的表面形成的反射图像和由所述透明板状体的背面形成的反射图像在通过所述拍摄得到的图像信号中分离的方式设定；及

表面形状检查工序，只使用通过拍摄得到的图像信号所包含的反射图像中的、由所述透明板状体的表面形成的所述条纹图案的反射图像，检查所述透明板状体的表面形状。

2.如权利要求1所述的表面形状的检查方法，其中，

对作为透明板状体的用于平面显示面板的玻璃基板进行检查。

3.如权利要求1所述的表面形状的检查方法，其中，

对作为透明板状体的用于汽车玻璃的原板进行检查。

4.如权利要求1、2或3所述的表面形状的检查方法，其中，

在表面形状检查工序中，得到反射图像相对于透明板状体的表面为理想平面时的理想反射图像的偏移量，使用所述偏移量、条纹图案的位置信息及拍摄单元的透镜中心位置信息来求出所述透明板状体的表面形状的倾斜度，将所述透明板状体的表面大致平坦作为约束条件，对所述表面形状的倾斜度进行积分以求出所述透明板状体的表面形状。

5.一种表面形状的检查装置，具备拍摄单元，该拍摄单元拍摄向透明板状体照射的条纹图案的由该透明板状体的表面形成的反射图像，基于通过所述拍摄单元的拍摄得到的图像信号检查所述透明板状体的表面形状，其特征在于，

设置具有明暗图案的条纹图案，所述明暗图案以由所述透明板状体的表面形成的反射图像和由所述透明板状体的背面形成的反射图像在通过所述拍摄单元得到的图像信号中分离的方式设定，

所述表面形状的检查装置具备：

分离单元，从通过所述拍摄单元得到的图像信号中分离出由所述透明板状体的表面形成的所述条纹图案的反射图像；及

运算单元，使用所述分离单元分离出的所述反射图像来检查所述透明板状体的表面形状。

6.如权利要求5所述的表面形状的检查装置，其中，

运算单元包括：偏移量计算单元，算出反射图像相对于透明板状体的表面为理想平面时的理想反射图像的偏移量；倾斜度计算单元，使用所述偏移量计算单元算出的偏移量、条纹图案的位置信息及拍摄单元的透镜中心位置信息来算出所述透明板状体的表面形状的倾斜度；及表面形状决定单元，将所述透明板状体的表面大致平坦作为约束条件，对所述倾斜度计算单元算出的表面形状的倾斜度进行积分以求出所述透明板状体的表面形状。