[发明专利]冰冻固结磨料抛光垫承载装置及其抛光垫

权利要求书

1.一种冰冻固结磨料抛光垫承载装置，其特征是它由刚度提供层（1）和隔热层（2）组成，隔热层（2）的一面与刚度提供层（1）相连，隔热层（2）的另一面与形成抛光盘（3）的冰冻固结磨料层相连，隔热层（2）的导热系数小于刚度提供层（1）的导热系数。

2.根据权利要求1所述的冰冻固结磨料抛光垫承载装置，其特征是所述的刚度提供层（1）和隔热层（2）的直径相同。

3.根据权利要求1所述的冰冻固结磨料抛光垫承载装置，其特征是所述的刚度提供层（1）为金属材料制品，它的整体形状呈“翼形”结构。

4.根据权利要求1所述的冰冻固结磨料抛光垫承载装置，其特征是所述的隔热层（2）为高分子隔热材料制品。

5.根据权利要求1所述的冰冻固结磨料抛光垫承载装置，其特征是所述的隔热层（2）与抛光盘（3）相连的一面上设有直径呈等差分布的多个环形燕尾型沟槽（4）或者均匀对称布置的圆孔阵（5），形成抛光盘（3）的冰冻固结磨料层充填伸入所述的环形燕尾型沟槽（4）或圆孔阵（5）中。

6.根据权利要求1所述的冰冻固结磨料抛光垫承载装置，其特征是所述的隔热层（2）通过螺栓与刚度提供层（1）相连；刚度提供层（1）设有与动力轴相连的连接螺孔。

7.根据权利要求1所述的冰冻固结磨料抛光垫承载装置，其特征是所述的隔热层（2）与刚度提供层（1）通过相配的燕尾形结构相连；刚度提供层（1）设有与动力轴相连的连接螺孔。

8.一种带有隔热层的冰冻固结磨料抛光垫，其特征是它主要由刚度提供层（1）、隔热层（2）及抛光盘（3）组成，所述的隔热层（2）位于刚度提供层（1）和抛光盘（3）之间，隔热层（2）的一面与刚度提供层（1）相连，隔热层（2）的另一面与形成抛光盘（3）的冰冻固结磨料层冻结相连，在隔热层（2）与抛光盘（3）相连的一面上设有供冰冻固结磨料层渗入以便通过冻结使隔热层（2）与抛光盘（3）相连的直径呈等差分布的多个环形燕尾型沟槽（4）或者均匀对称布置的圆孔阵（5）。