[发明专利]利用合金催化剂制造石墨烯的方法

权利要求书

1.一种制造石墨烯的方法，该方法包括：

在衬底上形成合金催化剂层；以及

在所述合金催化剂层上形成石墨烯层。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述合金催化剂层包括至少两种过渡金属。

3.如权利要求1所述的方法，其中所述合金催化剂层包括从由镍、铜、铂、铁和金构成的组中选出的至少两种金属。

4.如权利要求3所述的方法，其中所述合金催化剂层包括原子比为5％至30％的Ni。

5.如权利要求4所述的方法，其中所述合金催化剂层包括原子比为约20％的Ni。

6.如权利要求5所述的方法，其中所述合金催化剂层是Ni-Cu合金。

7.如权利要求1所述的方法，其中形成所述合金催化剂层包括将所述合金催化剂层形成为10nm至1000nm的厚度。

8.如权利要求2所述的方法，其中形成所述合金催化剂层包括使用溅射方法和蒸发方法之一来形成合金催化剂层。

9.如权利要求3所述的方法，其中形成所述合金催化剂层包括通过在衬底上堆叠所述至少两种金属的薄膜并对所堆叠的薄膜退火而形成所述合金催化剂层。

10.如权利要求9所述的方法，其中形成所述合金催化剂层包括通过堆叠所述至少两种金属之一的第一多个薄膜与所述至少两种金属中另一个的第二多个薄膜使得第一和第二多个薄膜交错来形成所述至少两种金属的堆叠薄膜。

11.如权利要求10所述的方法，其中形成所述合金催化剂层包括形成所述合金催化剂层使得所述第一多个薄膜具有不同于所述第二多个薄膜的厚度。

12.如权利要求11所述的方法，其中形成所述合金催化剂层包括通过交替堆叠Cu和Ni的薄膜来形成所述合金催化剂层，Cu薄膜形成得比Ni薄膜厚。

13.如权利要求1所述的方法，其中形成所述石墨烯层包括通过在650℃至750℃的温度将碳氢气体提供到所述衬底上形成所述石墨烯层。