[发明专利]一种三瓣石墨坩埚单晶炉无效
| 申请号： | 201010504404.6 | 申请日： | 2010-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN102115909A | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 钟小平 | 申请（专利权）人： | 浙江舒奇蒙能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 尉伟敏 |
| 地址： | 311227 浙江省杭州市萧山*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 三瓣 石墨 坩埚 单晶炉 | ||
1.一种三瓣石墨坩埚单晶炉，包括炉壳（1）、保温层（14）、石英坩埚（3）、石墨坩埚（2）、加热器（5）和保温桶，石墨坩埚（2）的里面设置石英坩埚（3），石墨坩埚（2）的外面设置加热器（5），加热器（5）的外面设置保温层（14），其特征是，所述石墨坩埚（2）三瓣侧壁间拼缝与径向成40度-50度斜角。
2.根据权利要求1所述一种三瓣石墨坩埚单晶炉，其特征是，所述石墨坩埚（2）埚底相邻两瓣间拼缝为一段圆弧，圆弧一端相交于坩埚中心，另一端与坩埚侧壁相连，埚底三瓣间拼缝成风车状，石墨坩埚（2）三瓣侧壁间拼缝由石墨坩埚（2）埚底三瓣间拼缝顺延而成。
3.根据权利要求1所述一种三瓣石墨坩埚单晶炉，其特征是，所述加热器（5）上方设有上反射板（10），加热器（5）下方设有下反射板（11），上反射板（10）和下反射板（11）为圆环形。
4.根据权利要求1所述一种三瓣石墨坩埚单晶炉，其特征是，所述石墨坩埚（2）三瓣的形状大小相同。
5.根据权利要求1或2或3或4所述一种三瓣石墨坩埚单晶炉，其特征是，所述上反射板（10）圆环外侧固定于保温桶内侧，下反射板（11）圆环外侧固定于加热器（5）基座内侧。
6.根据权利要求5所述一种三瓣石墨坩埚单晶炉，其特征是，所述上反射板（10）圆环外侧固定于保温桶内侧，下反射板（11）圆环外侧固定于加热器（5）基座内侧。
7.根据权利要求1或2或3或4所述一种三瓣石墨坩埚单晶炉，其特征是，所述上反射板（10）和下反射板（11）的材质为碳/碳纤维。
8.根据权利要求6所述一种三瓣石墨坩埚单晶炉，其特征是，所述上反射板（10）和下反射板（11）的材质为碳/碳纤维。
9.根据权利要求8所述一种三瓣石墨坩埚单晶炉，其特征是，所述上反射板（10）与加热器（5）上沿垂直间隙为15mm-20mm，下反射板（11）与加热器（5）下沿垂直间隙为15mm-20mm。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江舒奇蒙能源科技有限公司，未经浙江舒奇蒙能源科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201010504404.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
