[发明专利]机械手臂表面金属污染检测方法无效
| 申请号： | 201010504624.9 | 申请日： | 2010-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN102095599A | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 王硕;许忠义 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/02 | 分类号： | G01N1/02;G01N27/64 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 机械 手臂 表面 金属 污染 检测 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种机械手臂表面金属污染检测方法，其特征在于：所述方法包括：
机械手臂表面金属成分取样装置的制备；
容量瓶的准备及清洗；
清洗溶剂的煎蘸；
机械手臂表面擦拭；
机械手臂表面金属成分的提取；
机械手臂表面金属污染检测。
2.如权利要求1所述的机械手臂表面金属污染检测方法，其特征在于：所述取样装置包括握持部和固定在握持部一端的取样部。
3.如权利要求2所述的机械手臂表面金属污染检测方法，其特征在于：所述取样部之异于握持部的一端为方头结构。
4.如权利要求2所述的机械手臂表面金属污染检测方法，其特征在于：所述取样部由无尘布制备。
5.如权利要求1所述的机械手臂表面金属污染检测方法，其特征在于：所述清洗溶剂为超纯水。
6.如权利要求1所述的机械手臂表面金属污染检测方法，其特征在于：所述清洗溶剂煎蘸的时间为2～5分钟。
7.如权利要求1所述的机械手臂表面金属污染检测方法，其特征在于：所述擦拭是从机械手臂下端向上端移动。
8.如权利要求7所述的机械手臂表面金属污染检测方法，其特征在于：所述移动的距离为6cm。
9.如权利要求7所述的机械手臂表面金属污染检测方法，其特征在于：所述金属成分包括但不限于碱金属和碱土金属。
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