[发明专利]用于气浮轴承的气浮垫

权利要求书

1.一种用于气浮轴承的气浮垫，用于连接气浮轴承的滑块和导轨，其特征在于，包括上支座、下支座和连接部件；

所述连接部件的一端与所述上支座的一端活动连接，该连接部件相对所述上支座移动，所述上支座的另一端与所述滑块连接；

所述连接部件的另一端与所述下支座的一端连接，所述下支座的另一端的端面为气浮面，所述气浮面面向所述导轨；

所述连接部件相对所述上支座的移动带动所述下支座移动，从而改变所述气浮面与所述导轨之间的空气间隙。

2.如权利要求1所述的用于气浮轴承的气浮垫，其特征在于，所述上支座设有压力腔和压力腔供气管路；所述压力腔供气管路与所述压力腔连通；所述压力腔的内侧壁上设有上限位面和下限位面。

3.如权利要求2所述的用于气浮轴承的气浮垫，其特征在于，所述压力腔的一端呈台阶状，在所述台阶处形成该压力腔的上限位面。

4.如权利要求2所述的用于气浮轴承的气浮垫，其特征在于，所述压力腔的内侧壁上设有定位销，所述定位销形成该压力腔的下限位面。

5.如权利要求2～4中任一权利要求所述的用于气浮轴承的气浮垫，其特征在于，所述下限位面与上限位面之间的间距为20μm～50μm。

6.如权利要求1所述的用于气浮轴承的气浮垫，其特征在于，所述上支座设有压力腔和压力腔供气管路；所述压力腔供气管路与所述压力腔连通；所述压力腔的内侧壁上设有上限位面和下限位面；所述连接部件包括连接构件和活塞，所述活塞设置在所述压力腔的上限位面与下限位面之间，所述连接构件的一端与所述活塞连接，该连接构件的另一端与所述下支座连接。

7.如权利要求6所述的用于气浮轴承的气浮垫，其特征在于，所述连接构件为球头铰链，所述球头铰链的球头与所述活塞连接，所述球头铰链的球头座与所述下支座连接。

8.如权利要求6所述的用于气浮轴承的气浮垫，其特征在于，所述活塞的外围套有一密封圈。

9.如权利要求1、2、3、4、6、7或8所述的用于气浮轴承的气浮垫，其特征在于，所述下支座设有多个节流孔和节流孔供气管路；所述节流孔供气管路与所述多个节流孔均连通；所述节流孔的排气口设置在所述气浮面上。

10.如权利要求9所述的用于气浮轴承的气浮垫，其特征在于，所述节流孔的直径为0.1mm～0.25mm。

11.如权利要求1所述的用于气浮轴承的气浮垫，其特征在于，所述上支座与所述下支座之间设有间隙。

12.如权利要求1所述的用于气浮轴承的气浮垫，其特征在于，所述气浮面与所述导轨之间的间距为5μm～20μm。

13.如权利要求1所述的用于气浮轴承的气浮垫，其特征在于，所述气浮面上涂有硬质阳极氧化涂层。