[发明专利]工件台垂向位置测量系统

权利要求书

1.一种工件台的垂向位置测量系统，其特征在于，包括：

第一角反射镜和第二角反射镜，分别安装在所述工件台的x向的两侧，所述第一角反射镜和第二角反射镜包括两片反射镜片，所述两片反射镜片连接成直角；

第一光束产生/探测装置，对应于所述第一角反射镜的位置，用以产生光束至所述第一角反射镜，并且探测由所述第一角反射镜所反射的光束；

第二光束产生/探测装置，对应于所述第二角反射镜的位置，用以产生光束至所述第二角反射镜，并且探测由所述第二角反射镜所反射的光束，所述第一光束产生/探测装置和第二光束产生/探测装置安装在所述工件台的基准位置上，不随该工件台移动。

2.根据权利要求1所述的工件台的垂向位置测量系统，其特征在于，根据公式

z=k2-x0k·z1+k2+x0k·x2]]>

可以得到所述工件台的z向位置，其中k为所述工件台的x向宽度，(x₀，y₀)为所述工件台的当前位置，z₁、z₂分别为所述第一光束产生/探测装置和所述第二光束产生/探测装置测得的所述工件台的z向位置。

3.根据权利要求1所述的工件台的垂向位置测量系统，其特征在于，根据公式

Ry=arctg(z1-z2k)]]>

得到所述工件台y向的倾斜程度Ry。

4.根据权利要求1所述的工件台的垂向位置测量系统，其特征在于，所述角反射镜的宽度与所述工件台在x向的宽度相同。

5.根据权利要求1所述的工件台的垂向位置测量系统，其特征在于，所述工件台为光刻机中用于承载硅片或掩模的工件台。

6.根据权利要求1所述的工件台的垂向位置测量系统，其特征在于，还包括：

第三光束产生/探测装置，与所述第二光束产生/探测装置位于所述工件台的同一侧，用以产生光束至所述第二角反射镜，并且探测由所述第二角反射镜所反射的光束；

根据公式

Rx=arctg(z2-z3d)]]>

得到所述工件台x向的倾斜程度Rx，其中z₂、z₃分别为所述第二光束产生/探测装置和所述第三光束产生/探测装置测得的所述工件台的z向位置，d为所述第二光束产生/探测装置和所述第三光束产生/探测装置之间的距离。